[发明专利]一种晶圆加工用自动卸料研磨机

权利要求书

1.一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括研磨机（1）、位移台（2）、滑道（3）、设备箱（4）、控制器（5）、载台（6）、卸料台（7），所述研磨机（1）与位移台（2）内部法兰连接，所述滑道（3）与设备箱（4）右壁焊接连接，所述设备箱（4）与控制器（5）末端铰接连接，所述卸料台（7）固定在研磨机（1）右侧与其间隙配合，所述载台（6）上表面与设备箱（4）底部螺栓固定，所述载台（6）右侧与卸料台（7）左侧焊接连接，其特征在于：

所述研磨机（1）包括上磨盖（11）、晶圆卡台（12）、辅助下盘（13）、传动机（14），所述位移台（2）后壁与滑道（3）滑动配合，所述上磨盖（11）与晶圆卡台（12）嵌套配合，所述晶圆卡台（12）下端与辅助下盘（13）活动配合，所述辅助下盘（13）内部与传动机（14）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述上磨盖（11）包括散热槽（111）、磨盘（112）、保护壳（113）、吸盘（114）、内环（115），所述散热槽（111）与内环（115）表面嵌固连接，所述内环（115）与保护壳（113）内壁嵌固连接，所述保护壳（113）与磨盘（112）整体间隙配合，所述磨盘（112）与内环（115）表面间隙配合，所述散热槽（111）两侧与吸盘（114）间隙配合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述散热槽（111）包括导流管（a1）、活动腔（a2）、限制块（a3）、挡板（a4）、拉簧（a5），所述导流管（a1）与挡板（a4）表面活动配合，所述挡板（a4）底部与拉簧（a5）焊接连接，所述活动腔（a2）上表面与限制块（a3）铰接连接，所述挡板（a4）与限制块（a3）表面卡合配合，所述导流管（a1）两侧与活动腔（a2）间隙配合。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述导流管（a1）包括换向阀（a11）、入风口（a12）、分流条（a13）、空腔（a14）、摇摆栓（a15），所述换向阀（a11）与入风口（a12）内侧活动配合，所述摇摆栓（a15）表面与分流条（a13）焊接焊接连接，所述分流条（a13）与空腔（a14）内部活动配合，所述空腔（a14）底端与摇摆栓（a15）活动卡合，所述换向阀（a11）与分流条（a13）表面间隙配合。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述向阀（a11）包括卡块（b1）、导流板（b2）、限位杆（b3）、固定板（b4），所述卡块（b1）内壁与固定板（b4）卡合连接，所述固定板（b4）表面与导流板（b2）铰接连接，所述导流板（b2）上表面与限位杆（b3）间隙配合，所述限位杆（b3）与固定板（b4）表面铰接连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述导流板（b2）包括支撑架（c1）、自转环（c2）、进风槽（c3）、活动栓（c4）、导板体（c5），所述支撑架（c1）与自转环（c2）中心活动配合，所述自转环（c2）与进风槽（c3）底端焊接连接，所述导板体（c5）与支撑架（c1）末端焊接连接，所述活动栓（c4）与导板体（c5）顶端嵌固连接，所述导板体（c5）与自转环（c2）外表面间隙配合。