[发明专利]一种非完美单晶锗片的高温成形装置

权利要求书

1.一种非完美单晶锗片的高温成形装置由加热电炉、温度控制系统、模具系统、加载系统、真空保护系统、操作台、辅助系统部分组成；其特征在于，

所述加热电炉的炉膛为圆柱形且炉口朝下，炉膛且具有垂直升降或开合功能；所述真空系统由玻璃罩、阻挡法兰、玻璃罩支撑板、真空泵及其附件组成；所述模具系统包含弯曲模、精整模、碾平模、电机及传动附件，均内置于玻璃罩内。

2.根据权利要求1所述玻璃罩，其特征在于，玻璃罩主体为圆柱形，一端穹顶封闭，另一端为通孔，玻璃罩通孔端朝下立式放置，通孔端被位于操作台水冷套箱内的玻璃罩支撑板支撑，玻璃罩的圆柱面并开设有操作口，操作口装配有不透气材质的手套。

3.根据权利要求1所述辅助系统，其特征在于，辅助系统包含绝热垫、置放架、保护层、夹具系统、视频监控、模座循环冷却水泵及附件；

进一步，所述绝热垫安置于操作口之上，绝热垫开设有便于夹具系统操作和非完美单晶片取放的缺口；

进一步，所述置物架处于绝热垫和阻挡法兰之间，绝热垫、置物架、阻挡法兰三者之间位置相对固定；

进一步，所述保护层为复合结构包含有绝热的外层、散热的内层、隔离的中间层，在玻璃罩处于被加热状态时，保护层包覆玻璃罩操作口及以下的外壳部分，以免除手套受辐射的影响；

进一步，所述夹具系统由旋转杆和远端操作机构组成的夹钳组成，旋转杆垂直安装于操作台且具有旋转和垂直升降功能，旋转杆为套管结构，在管内通循环冷却水，旋转杆可绕自身轴线旋转，旋转角度不小于45°，远端操作机构组成的夹钳以铰链形式固定于旋转杆；

进一步，所述视频监控由摄像头和视频监视器和连接线组成，摄像头安装于内通循环冷却水旋转杆的管壁，连接线从旋转杆内引出玻璃罩内腔与外面视频监视器相连。

4.根据权利要求1所述模具系统，其特征在于，碾平模、精整模、弯曲模共用模座，三套模具垂直排列，从上至下具体分别为圆辊、碾平精整复合模、精整弯曲复合模、弯曲模；

所述圆辊同时具有平移和绕自身轴线旋转功能，圆辊平移采用齿轮齿条机构实现，其传动路线为：电机→链轮→链条→链轮→齿轮→齿条→圆辊平动，圆辊两端采用轴承固定于齿条，齿条通过滑动槽装配于模座，齿轮则采用轴承装配于模座；

进一步，所述模座采用金属材料制成，模座内加工有冷却水道；

进一步，所述电机及传动附件包含电机、齿轮齿条传动机构、链条链轮传动机构，电机具有转向变换功能；

所述碾平精整复合模的工作面为两个平行面，一个工作面作为碾平下模，另外一个工作面作为精整上模；碾平下模与圆辊形合成碾平模，精整上模与精整弯曲复合模的精整工作面形成精整模，碾平精整复合模可上下升降，上下升降定位采用导向柱；

所述精整弯曲复合模装配于碾平精整复合模具之下，精整弯曲复合模包含精整下模和弯曲凸模，精整下模为与精整上模相对而设形成精整模，弯曲凸模则与弯曲凹模形成弯曲模，精整弯曲复合模有上下升降和单独加载功能，上下升降定位采用导向柱。

5.根据权利要求1加载系统，其特征在于，加载为气压或油压加载方式，加载对象为碾平精整复合模、精整弯曲复合模、弯曲凹模，各模的加载压力、加载速度、加载时间单独调控。