[发明专利]泵浦激光器老化的温控系统

说明书

本申请涉及半导体激光器测试技术领域，提供了一种泵浦激光器老化的温控系统，包括：水冷机；至少两个水冷板，各水冷板用于供泵浦激光器贴设于其上以进行老化测试，每个水冷板的第一入水口与水冷机的第二出水口连通，每个水冷板的第一出水口与水冷机的第二入水口连通；温度监测设备，至少用于实时监测各泵浦激光器的温度；至少两个温度调节结构，各温度调节结构一一对应连通于各水冷板的第一入水口与水冷机的第二出水口之间，并用于根据温度监测设备的温度监测结果来调节各水冷板的入水温度。本申请的泵浦激光器老化的温控系统，能够同时用于不同老化温度需求的泵浦激光器的老化温度控制，使得泵浦激光器老化的温控系统应用范围更广，可调性好。

技术领域

本申请属于半导体激光器测试技术领域，更具体地说，是涉及一种泵浦激光器老化的温控系统。

背景技术

泵浦激光器是一种半导体激光器中，泵浦激光器老化是泵浦激光器制造过程中非常重要的一环，常需要在高温、大电流状态下长时间工作使得泵浦激光器老化至性能曲线中较平稳区域。而不同波长的泵浦激光器的老化温度不一样，例如915泵浦激光器需要在50-60℃的温度范围内老化，而锁波长泵浦激光器需要在20-30℃的温度范围内老化。但是，目前现有市场上的老化治具只能应用于同一温度范围内的泵浦激光器老化，导致不同的泵浦激光器需要采用不同的老化治具进行老化，浪费老化治具的成本，且不能批量进行老化。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种泵浦激光器老化的温控系统，以解决现有技术中存在的不同泵浦激光器需要采用不同老化治具进行老化的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种泵浦激光器老化的温控系统，包括：

水冷机；

至少两个水冷板，各所述水冷板用于供泵浦激光器贴设于其上以进行老化测试，每个所述水冷板的第一入水口与所述水冷机的第二出水口连通，每个所述水冷板的第一出水口与所述水冷机的第二入水口连通；

温度监测设备，至少用于实时监测各所述泵浦激光器的温度；

至少两个温度调节结构，各所述温度调节结构一一对应连通于各所述水冷板的第一入水口与所述水冷机的第二出水口之间，并用于根据所述温度监测设备的温度监测结果来调节各所述水冷板的入水温度。

在可能的实施例中，所述泵浦激光器老化的温控系统还包括控制器，所述控制器分别与所述温度监测设备及各所述温度调节结构通信连接。

在可能的实施例中，所述温度调节结构与所述水冷板之间设有用于测量所述水冷板的入水流量的流量计。

在可能的实施例中，所述温度调节结构为电动调节阀。

在可能的实施例中，所述泵浦激光器上设有第一温度监测点，所述第一温度监测点电连接至所述温度监测设备，所述温度调节结构用于根据所述泵浦激光器的温度进行温度调节。

在可能的实施例中，所述泵浦激光器上设有第一温度监测点，所述水冷板上设有第二温度监测点，所述第一温度监测点及所述第二温度监测点均电连接至所述温度监测设备，所述温度调节结构用于根据所述泵浦激光器的温度及所述泵浦激光器与所述水冷板的温度差来进行温度调节。

在可能的实施例中，所述泵浦激光器与所述水冷板之间抵接有导热垫片。

在可能的实施例中，所述泵浦激光器老化的温控系统还包括施压结构，所述施压结构用于向所述泵浦激光器上施加朝向所述水冷板方向的压力。

在可能的实施例中，所述水冷机的第二出水口连接有第一水管，每个所述水冷板的第一入水口连接有第二水管，所述第一水管通过第一多通阀分别连通至各所述第二水管；

每个所述水冷板的第一出水口连接有第三水管，所述水冷机的第二入水口连接有第四水管，各所述第三水管通过第二多通阀分别连通至所述第四水管。