[发明专利]一种新型洁净舱及其使用方法

权利要求书

1.一种新型洁净舱，包括由舱盖、舱体和舱座围成的内腔，其特征在于，所述舱盖上设有进气口，且舱盖上设有与进气口连通并朝向内腔的进气孔，所述舱座上设有用于承载光学元件的光机台，且光机台上设有透气孔，所述光机台与舱座之间设有汇流槽排，且汇流槽排上设有出气口以及与内腔连通的通孔。

2.根据权利要求1所述的一种新型洁净舱，其特征在于，所述舱盖的内部设有空腔，所述进气口位于舱盖的侧面，所述进气孔均布于舱盖下表面。

3.根据权利要求1所述的一种新型洁净舱，其特征在于，所述舱座通过垫块连接光机台。

4.根据权利要求3所述的一种新型洁净舱，其特征在于，所述垫块通过螺栓分别与舱座、光机台连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型洁净舱，其特征在于，所述汇流槽排由多根汇流管组成格栅状，所述多根汇流管相互连通，且汇流管表面均布通孔。

6.根据权利要求5所述的一种新型洁净舱，其特征在于，所述出气口位于汇流管上。

7.根据权利要求2-6任一所述的一种新型洁净舱，其特征在于，所述进气口连接有进气管，所述出气口连接有出气管。

8.根据权利要求7所述的一种新型洁净舱，其特征在于，所述进气口和出气口均设有2个。

9.一种采用所述的新型洁净舱的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：将汇流槽排放置于舱座上方，在舱座上固定垫块并将光机台固定在垫块上；

S2：将光学元件置于光机台上，并将舱体分别与舱座、舱盖固连，通过进气口、出气口抽真空充氮置换，即可。