[发明专利]一种石英半球谐振子纳米制造装备

权利要求书

1.一种石英半球谐振子纳米制造装备，其特征在于，该装备包括：

(1)：数控微纳移动旋转平台：实现绕X、Y、Z轴回转的和水平移动；非切削时，回转工作台带动其上的工件进行360°范围的分度旋转，在切削时候实现X、Y、Z轴进行联动，加工复杂曲面，实现连续圆周进给运动；数控微纳移动旋转平台采用伺服电机驱动，达到移动精度小于10nm，转动精度小于0.01°；

(2)：分度装置：实现一次装夹实现多个工位的加工，同时实现磨削、化学机械抛光、离子束流抛光修型；采用气动驱动的方式，分度装置的旋转达到0.01°；

(3)：离子束抛光装置：本装置是采用Ar离子作为离子抛光的离子源，采用机械泵外加分子泵对离子源腔室进行抽真空，真空值达到1x10^-7mbar；通过分度装置移动加工工件到离子腔室内，通过激光干涉仪对样品表面进行实时成像，同时对离子腔和样品进行抽真空，进行聚焦离子束加工修型；离子束的加速电压在0.5kV-5kV可调；利用5kV实现对石英半球陀螺进行粗修型，利用0.8kV进行精修型；

(4)：化学机械抛光装置：该装置包括粘结着不同类型的抛光布的磨头和多管路冷却液喷嘴；后者用于喷射冷却液和抛光液，喷射流速可调；喷射压力为：0.02kPa-2kPa；

(5)：激光干涉仪：本装备采用双频激光干涉仪，进行几何精度检测，其中包括检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度；直线度的测量精度达到1nm，角度测量精度达到1″；

(6)：辅助功能装置：辅助功能装置包括润滑装置、排屑装置、液压、气动装置和防护装置；主要采用集中润滑系统，本装备配备有刮板式排屑装置，同时装备具有防护系统，同时保护机床导轨和伺服电机，同时配备着局部镀膜保护装置，保护已达到加工要求的工件表面不会被加工。