[发明专利]非接触式静电场测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种非接触式静电场测试装置，其特征在于：包括感应电极(2)，所述感应电极(2)分别与两个压控变容器件(3)的一端连接，所述压控变容器件(3)的另一端分别与隔离变压器(4)的次级线圈的两端连接，所述隔离变压器(4)的初级线圈的两端连接有电压激励源(5)，所述隔离变压器(4)的次级线圈上设置有信号输出端，所述信号输出端与低噪声放大器(6)的信号输入端连接，所述低噪声放大器(6)的信号输出端与模数转换模块(7)的信号输入端连接，所述模数转换模块(7)的信号输出端与解调检波模块(8)的信号输入端连接，所述解调检波模块(8)输出的信号为被测静电目标(1)所产的静电场信号(9)。

2.如权利要求1所述的非接触式静电场测试装置及测试方法，其特征在于：所述压控变容器件(3)为压控变容二极管。

3.一种非接触式静电场测试方法，其特征在于，包括如下步骤：

感应电极(2)与被测静电目标(1)之前保持一定距离，使得感应电极(2)与被测静电目标(1)之间存在一个电容C₁₁；

在感应电极(2)后串接一个压控变容器件(3)，其电容为C₁₂，该电容随外加电压激励源(5)输出电压的变化而变化；其中，电压激励源(5)的输出电压通过隔离变压器(4)施加在压控变容器件(3)上；

调制后隔离变压器(4)产生的交流信号通过低噪声放大器(6)进行放大处理，放大处理后的信号采用模数转换器(7)将模拟信号转换成数字信号，并将其送入解调检波模块(8)完成解调检波，得到输出信号，输出信号反映了被测静电目标所产的静电场信号(9)。

4.如权利要求3所述的非接触式静电场测试方法，其特征在于：

电容C₁₂＝C_v(1+ksin(ωt))，其中C_v表示压控变容器件(3)的电容中心值，k表示压控变容器件(3)的调制系数，ω表示电压激励源(5)输出电压信号的频率。