[发明专利]一种以Bessel波束为探针的太赫兹叠层成像方法和系统有效

专利信息
申请号: 202011307352.3 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN112540055B 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 王可嘉;杨书涛;刘劲松;杨振刚 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G01N21/3581 分类号: G01N21/3581
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 胡秋萍;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 bessel 波束 探针 赫兹 成像 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种以Bessel波束为探针的太赫兹叠层成像方法,其特征在于,该方法包括:

使用Bessel波束作为照明探针,在Bessel波束的无衍射区域内、垂直于波束传播方向的平面内照明探针与样品之间进行相对移动,在记录面采集不同样品位置对应远场衍射图像的强度分布,基于探测得到的强度分布进行图像重建,获得样品的吸收系数和相位信息,以及照明探针在物平面的复振幅分布。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,将探测得到的强度分布作为图像重建阶段的输入,与随机的相位分布一起构成初始光场的复振幅,基于扩展的叠层迭代引擎算法进行图像重建。

3.一种以Bessel波束为探针的太赫兹叠层成像系统,其特征在于,该系统包括:

太赫兹发生模块,用于发射单频连续太赫兹波束;

波束传输模块,用于将太赫兹发生模块发射的太赫兹波束转化为Bessel波束后,入射至样品表面;

样品位移模块,用于在Bessel波束的无衍射区域内、垂直于光束传播方向的平面内移动样品;

太赫兹探测模块,用于探测样品处于不同位置时样品后方的强度分布;

叠层成像模块,用于基于探测得到的强度分布进行图像重建,获得样品的吸收系数和相位信息,以及照明探针在物平面的复振幅分布。

4.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述太赫兹发生模块包括:太赫兹发生源和斩波器,所述斩波器对太赫兹发生源发射的连续太赫兹波进行调制,产生时域矩形波信号。

5.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述波束传输模块包含:准直透镜和轴棱锥透镜,所述准直透镜将太赫兹波束准直为高斯波束,所述轴棱锥透镜将高斯波束折射为Bessel波束。

6.如权利要求5所述的系统,其特征在于,根据轴棱锥透镜的顶角τ、材料折射率n0以及周围介质折射率n,根据公式θ=arcsin(n/n0cos(τ/2))+(τ-π)/2,求出折射波束覆盖轴棱锥的半顶角θ;

再根据公式Zmax=w0/tanθ选择w0处,使得将轴棱锥透镜放置于此处时能够得到最大无衍射距离,其中,Zmax表示Bessel波束的无衍射距离,w0表示高斯波束的束腰半径。

7.如权利要求6所述的系统,其特征在于,轴棱锥透镜的直径大于高斯波束的直径。

8.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述太赫兹探测模块包括:太赫兹探测器和锁相放大器,所述太赫兹探测器用于探测衍射场上太赫兹波束电场强度的平方值,并将此值转换为电流信号;所述锁相放大器用于将得到的电流信号转换为电压信号,并进行放大处理。

9.如权利要求3至8任一项所述的系统,其特征在于,所述叠层成像模块将探测得到的强度分布作为图像重建阶段的输入,与随机的相位分布一起构成初始光场的复振幅,基于扩展的叠层迭代引擎算法进行图像重建。

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