[发明专利]一种薄膜压电声波谐振器

权利要求书

1.一种薄膜压电声波谐振器，其特征在于，包括：从上至下依次叠置的上电极、压电层和下电极；

所述上电极、压电层和下电极在所述压电层表面方向上的投影相互重叠的区域构成所述谐振器的有效谐振区，在所述有效谐振区外，所述上电极和所述下电极在所述压电层表面方向上的投影相互错开；

所述有效谐振区在所述压电层表面方向上的投影为六边形，所述六边形具有长度最长的第一边、与所述第一边相对的第二边；

通过所述有效谐振区的第一边界延伸出所述有效谐振区的上电极定义为上电极引出部，通过所述有效谐振区的第二边界延伸出所述有效谐振区的下电极定义为下电极引出部；所述第一边界和所述第二边界其中之一为所述第一边，另一为所述第二边；

第一外部信号连接端与所述上电极引出部连接，第二外部信号连接端与所述下电极引出部连接；

所述谐振器还包括承载衬底，所述承载衬底中设有声反射结构，所述有效谐振区位于所述声反射结构上方，位于所述声反射结构上方的所述压电层为完整的膜层。

2.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电层的材料具有晶格结构，所述晶格结构具有六边形晶面。

3.如权利要求2所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述六边形晶面的各个内角与六边形有效谐振区的各个内角基本相同。

4.如权利要求2所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电层的材料具有六方晶格结构。

5.如权利要求4所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述六边形的最大内角不超过140度，最小内角不小于100度。

6.如权利要求4所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述六边形的的三组对边两两平行或近似平行，内角均为120度，且相互平行或近似平行的对边不等长。

7.如权利要求4所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电层的材料包括：氮化铝，其C轴与压电层平面近乎垂直。

8.如权利要求7所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电层上下表面保持相对平行，并与所述C轴垂直。

9.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述六边形包括至少一对相互平行或近似平行的对边，相互平行或近似平行的对边等长或不等长。

10.如权利要求9所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一边和所述第二边为相互平行或近似平行的对边。

11.如权利要求10所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述述第一边和所述第二边不等长。

12.如权利要求10所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第二边为所述六边形的次长边。

13.如权利要求9或10所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于所述六边形还包括最短边第三边和与所述第三边相对的第四边，所述第三边和所述第四边为相互平行或近似平行的对边。

14.如权利要求13所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第四边为所述六边形的次短边。

15.如权利要求13所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一边与所述第三边相邻，且所述第一边的长度与所述第三边长度的比值大于1.25倍。

16.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述上电极包括第一谐振边界，所述下电极包括第二谐振边界，所述有效谐振区的边界包括所述第一谐振边界和所述第二谐振边界。