[发明专利]搬送路

说明书

本发明提供搬送路，其能够高效且安全地搬送被加工物。向加工装置搬送被加工物的搬送车在该搬送路上行驶，该搬送路具有设置于该加工装置的上方并且上表面平坦的路面面板，在该路面面板的该上表面的与该搬送车的车轮接触的位置，露出有导电性部件。优选该导电性部件覆盖该路面面板的该上表面的整个区域。更优选该导电性部件包含碳纤维强化塑料。进一步优选该导电性部件接地。进一步优选多个该路面面板在与该上表面平行的方向上连接。能够抑制因搬送路与搬送车的车轮进行摩擦而产生的静电以及该静电的蓄积，从而能够防止对被加工物带来不良影响。

技术领域

本发明涉及在被加工物的搬送中使用的搬送路。

背景技术

在组装于电子设备等的器件芯片的制造工序中，通过各种加工装置对半导体晶片或树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬送被加工物时，通常使用能够收纳多个被加工物的盒。当加工装置接受收纳有多个被加工物的状态的盒时，从该盒中依次取出被加工物而进行加工。

为了提高被加工物的加工的效率，有时也并行使用多个加工装置。在该情况下，必须在适当的时机对多个加工装置分别搬送被加工物。因此，提出了如下的搬送系统：通过搬送用的路径(搬送路)来连接多个加工装置，从而实现对各加工装置搬送被加工物(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平6-177244号公报

另外，为了最大限度地发挥多个加工装置所具有的能力，重要的是对各加工装置高效且安全地搬送被加工物。但是，由于被加工物的搬送所涉及的各种装置的构造上的原因等，有时无法实现被加工物的顺利的搬送。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供搬送路，其能够高效且安全地搬送被加工物。

根据本发明的一个方式，提供搬送路，向加工装置搬送被加工物的搬送车在该搬送路上行驶，该搬送路具有设置于该加工装置的上方并且上表面平坦的路面面板，在该路面面板的该上表面的与该搬送车的车轮接触的位置，露出有导电性部件。

在该搬送路中，优选该导电性部件覆盖该路面面板的该上表面的整个区域。

另外，在该搬送路中，优选该导电性部件包含碳纤维强化塑料。

进而，在该搬送路中，优选该导电性部件接地。

进而，在该搬送路中，优选多个该路面面板在与该上表面平行的方向上连接。

在本发明的一个方式的搬送路中，具有设置于加工装置的上方并且上表面平坦的路面面板，在该路面面板的该上表面的与搬送车的车轮接触的位置，露出有导电性部件。因此，能够抑制因搬送路与搬送车的车轮进行摩擦而产生的静电以及该静电的蓄积，从而能够防止对被加工物带来不良影响。

因此，通过使用本发明的一个方式的搬送路，能够高效且安全地搬送被加工物。

附图说明

图1是示出搬送系统的结构例的俯视图。

图2是示出搬送系统的连接关系的例子的功能框图。

图3是示意性示出装载机/卸载机的结构例的侧视图。

图4的(A)是示出外门关闭、内门打开的状态的局部剖视侧视图，图4的(B)是示出外门打开、内门关闭的状态的局部剖视侧视图。

图5的(A)是示出盒载置台等的局部剖视侧视图，图5的(B)是示出盒载置台的底面图。

图6的(A)是示出将盒载置台从内部收纳区域向外侧拉出的情况的局部剖视侧视图，图6的(B)是示出辊从支承台脱落的情况的局部剖视侧视图，图6的(C)是示出使盒载置台向内部收纳区域返回的情况的局部剖视侧视图。