[发明专利]一种三氯氢硅气体湿法除尘器

说明书

本发明公开了一种三氯氢硅气体湿法除尘器，包括旋风除尘装置、袋式除尘装置、湿法除尘装置、冷凝除水装置，所述旋风除尘装置的进气口连接三氯氢硅合成炉的排气口，所述旋风除尘装置的排气口与所述袋式除尘装置的进气口连接，所述袋式除尘装置的排气口与所述湿法除尘装置的进气口连接，所述湿法除尘装置的排气口与所述冷凝除水装置的进气口连接，所述冷凝除水装置的排气口为净化排气口。本发明通过初步旋风除尘、袋式过滤后再经过本发明带静电吸附功能的的湿法除尘装置进行高效过滤，且过滤后的气体经冷凝去除空气中的水分，从而对三氯氢硅反应炉反应过程中产生的有害含尘气体进行高效的过滤，避免了环境污染，具有推广应用的价值。

技术领域

本发明涉及一种化工设备，尤其涉及一种三氯氢硅气体湿法除尘器。

背景技术

三氯氢硅又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米3；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。现有技术中，在三氯氢硅制作过程中，反应炉中会产生高温，也伴随着含有有害气体及粉尘从反应炉中排出，若不良好处理排出气体，则对环境造成影响，而现有技术中仅采用旋风除尘器、过滤器等常规过滤器不能够良好的解决过滤问题，因此，需要一种效率更高的专用除尘器解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是要提供一种三氯氢硅气体湿法除尘器。

为达到上述目的，本发明是按照以下技术方案实施的：

本发明包括旋风除尘装置、袋式除尘装置、湿法除尘装置、冷凝除水装置，所述旋风除尘装置的进气口连接三氯氢硅合成炉的排气口，所述旋风除尘装置的排气口与所述袋式除尘装置的进气口连接，所述袋式除尘装置的排气口与所述湿法除尘装置的进气口连接，所述湿法除尘装置的排气口与所述冷凝除水装置的进气口连接，所述冷凝除水装置的排气口为净化排气口。

作为改进，所述湿法除尘装置的底部设置有循环沉淀水箱。

进一步，所述循环沉淀水箱的排水口连接有循环喷淋水泵，所述循环喷淋水泵的排水口与所述湿法除尘装置的进水口连接。

优选的，所述循环喷淋水泵的排水口与所述湿法除尘装置的进水口之间设置有循环水冷却装置，所述循环喷淋水泵的排水口与所述循环水冷却装置的进水口连接，所述循环水冷却装置的排水口与所述湿法除尘装置的进水口连接。

进一步，所述湿法除尘装置由除尘装置进气管、第一静电吸附网、第一雾化喷淋头组成，所述除尘装置进气管设置于所述湿法除尘装置的下段一侧，所述第一静电吸附网设置于所述湿法除尘装置内并位于所述除尘装置进气管的上方，所述第一雾化喷淋头设置于所述湿法除尘装置内，并位于所述第一静电吸附网的上方。

作为改进，所述湿法除尘装置内还设置有与所述第一静电吸附网相同的第二静电吸附网和与所述第一雾化喷淋头相同的第二雾化喷淋头，所述第二静电吸附网设置于所述第一雾化喷淋头的上方，所述第二雾化喷淋头设置于所述第二静电吸附网的上方。

进一步，所述第二雾化喷淋头和所述第一雾化喷淋头同时通过喷淋管三通管道连接。

优选的，所述第一雾化喷淋头的上方和所述第二静电吸附网的下方之间设置有多个下置储水减阻槽和上置过渡减阻槽，所述下置储水减阻槽的凹槽方向向上，所述上置过渡减阻槽的凹槽方向向下，所述上置过渡减阻槽设置于相邻两个所述下置储水减阻槽之间的上方，所述上置过渡减阻槽与所述下置储水减阻槽之间具有间隙。

优选的，所述下置储水减阻槽和所述上置过渡减阻槽均为弧形结构。

本发明的有益效果是：

本发明是一种三氯氢硅气体湿法除尘器，与现有技术相比，本发明通过初步旋风除尘、袋式过滤后再经过本发明带静电吸附功能的的湿法除尘装置进行高效过滤，且过滤后的气体经冷凝去除空气中的水分，从而对三氯氢硅反应炉反应过程中产生的有害含尘气体进行高效的过滤，避免了环境污染，具有推广应用的价值。