[发明专利]一种激光束漂移实时探测与快速校正装置及方法

权利要求书

1.一种激光束漂移实时探测与快速校正装置，包括可调小孔（1）、旋转反射镜（2）、第一直角反射棱镜（3）、第一纳米位移台（4）、第二直角反射棱镜（5）、第二纳米位移台（6），其特征在于：所述可调小孔（1）、所述旋转反射镜（2）与所述第一直角反射棱镜（3）的中心位于同一线上，且水平高度相等；所述第一直角反射棱镜（3）固定在所述第一纳米位移台（4）上，可以沿着光束入射方向进行纳米移动；所述第二直角反射棱镜（5）固定在所述第二纳米位移台（6）上，可以沿着光束入射方向进行纳米移动；所述第一直角反射棱镜（3）和所述第一纳米位移台（4）对光束调控的方向与所述第二直角反射棱镜（5）和所述第二纳米位移台（6）调控的方向相对于光束入射平面相互垂直；

所述第二直角反射棱镜（5）出射方向上还包括压电调节镜架（7）、第一分束镜（8）、第二分束镜（9）、第一凸透镜（10）、第一光电感应器件（11）、第二凸透镜（12）、第三可调反射镜（13）、凹透镜（14）、第二光电感应器件（15），所述压电调节镜架（7）与所述第一光电感应器件（11）相对于所述第一凸透镜（10）成物像关系，即光束在所述压电调节镜架（7）上的图像在所述第一光电感应器件（11）上为实像。

2.根据权利要求1所述的激光束漂移实时探测与快速校正装置，其特征在于，所述第一分束镜（8）用透反比9:1的分束镜, 所述第二分束镜（9）采用透反比1:1的分束镜。

3.根据权利要求1所述的激光束漂移实时探测与快速校正装置，其特征在于：所述第二凸透镜（12）和所述凹透镜（14）组成远摄型系统，两者等效焦面与所述第二光电感应器件（15）的探测面位于同一位置。

4.根据权利要求1所述的激光束漂移实时探测与快速校正装置，其特征在于：所述第一光电感应器件（11）和所述第二光电感应器件（15）为位置探测器或四象限探测器。

5.根据权利要求1所述的激光束漂移实时探测与快速校正装置，其特征在于：所述压电调节镜架（7）和第一分束镜（8）的距离为a，第一分束镜（8）和第一凸透镜（10）的距离为b，第一凸透镜（10）和第一光电感应器件（11）的距离为c，第一凸透镜（10）的焦距为f1，满足如下公式：

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