[发明专利]一种用于快速分选的微流控芯片及制造方法

权利要求书

1.一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，包括芯片盖板和芯片基板，所述芯片盖板和所述芯片基板键合在一起，在所述芯片基板上形成有微流道，所述微通道包括依次连通的进样单元、分离单元、提纯单元、标记单元和检测单元，所述分离单元还连通到废液收集单元，所述分离单元包括双螺旋通道和连接通道，所述双螺旋通道包括内螺旋通道和外螺旋通道，所述内螺旋通道和所述外螺旋通道并行向外旋转扩展，所述内螺旋通道和所述外螺旋通道通过多个所述连接通道相连通，所述内螺旋通道的一端连通到所述进样单元，所述外螺旋通道的一端封闭，所述内螺旋通道的另一端或所述外螺旋通道的另一端中的一个连通到所述提纯单元、另一个连通到所述废液收集单元。

2.根据权利要求1所述的一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，所述连接通道均匀分布在所述内螺旋通道和所述外螺旋通道之间，所述内螺旋通道内的样本溶液的流动方向与样本溶液从所述内螺旋通道流至所述连接通道时的流动方向之间的夹角呈锐角，所述外螺旋通道内的样本溶液的流动方向与样本溶液从所述外螺旋通道流至所述连接通道时的流动方向之间的夹角呈钝角。

3.根据权利要求1所述的一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，所述双螺旋通道逆时针向外旋转扩展。

4.根据权利要求1所述的一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，所述进样单元包括主进样口和辅助进样口，所述主进样口和所述辅助进样口连通到所述内螺旋通道。

5.根据权利要求1所述的一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，所述提纯单元包括磁珠注入口和蛇形通道，所述磁珠注入口开设在所述蛇形通道与适应于双螺旋通道的连通端的连接通道上，所述蛇形通道的另一端连通所述标记单元，所述蛇形通道包括多个平行设置的提纯通道，每个所述提纯通道之间首尾相连通，每个提纯通道的长度不超过所述双螺旋通道的直径。

6.根据权利要求1所述的一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，所述标记单元包括荧光试剂添加口，所述荧光试剂添加口开设在所述提纯单元和所述检测单元的连接通道上。

7.根据权利要求1所述的一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，所述微流控芯片中微通道的横截面为长方形，高度为20-50μm，宽度为200-300μm。

8.一种用于快速分选的微流控芯片制造方法，所述方法用于制造如权利要求1-7任一所述的一种用于快速分选的微流控芯片，其特征在于，所述方法包括：

用浓硫酸和30％质量浓度过氧化氢的混合溶液清洗硅片，然后用超纯水清洗所述硅片后用氮气吹干，使用丙酮和无水乙醇的混合溶液清洗所述硅片后，将所述硅片的表面清洗干净并进行抛光处理；

将所述硅片放入挥发缸中并滴入六甲基二硅烷溶液，静置3-5分钟后在所述硅片上均匀涂抹光刻胶，静置1-2分钟后将所述硅片进行离心旋转；

将涂抹有所述光刻胶的所述硅片进行加热烘干处理；

将印有微通道的掩膜覆盖在所述硅片涂抹有所述光刻胶的一面进行曝光处理，再进行烘干处理，所述微通道包括依次连通的进样单元、分离单元、提纯单元、标记单元和检测单元，所述分离单元还连通到废液收集单元；

用显影液冲洗所述硅片；

将PDMS胶与固化剂按质量比10：1的比例进行混合搅拌，取适量混合胶倒在所述硅片上；

将覆盖有所述混合胶的所述硅片在抽真空机中抽真空，去除所述混合胶中的气泡；

将覆盖有所述混合胶的所述硅片放在烤胶机上进行烘干处理，使所述混合胶固化；

将固化后的所述混合胶从所述硅片上取下并修剪边角并进行打孔，得到芯片基板；

将芯片盖板与所述芯片基板拼接并放入键合机中键合，得到制作完成的所述微流控芯片。