[发明专利]载置台和检查装置

权利要求书

1.一种载置台，其载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，

该载置台包括：

第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；

加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；

透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；

第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及

透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间。

2.根据权利要求1所述的载置台，其中，

该载置台还包括反射部，该反射部设于所述透过构件的侧部，用于向所述透过构件的内部反射所述加热源所输出的光。

3.一种载置台，其载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，

该载置台包括：

第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；

加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；

第2冷却板，其设于所述第1冷却板之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及

透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述第2冷却板之间，使所述加热源所输出的光透过。

4.根据权利要求3所述的载置台，其中，

该载置台还包括反射部，该反射部设于所述透明树脂层的侧部，用于向所述透明树脂层的内部反射所述加热源所输出的光。

5.根据权利要求4所述的载置台，其中，

所述反射部延伸至所述第2冷却板的侧部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的载置台，其中，

所述第2制冷剂流路形成在所述第2冷却板的下表面或内部。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的载置台，其中，

该载置台还包括吸热膜，该吸热膜设于所述第2冷却板的下表面。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的载置台，其中，

所述发光元件具有安装于发光部的透镜。

9.一种检查装置，其以对被检查体施加载荷的方式按压探针卡的接触端子，对所述被检查体的电子器件进行检查，其中，

该检查装置包括载置所述被检查体的载置台，

所述载置台具有：

第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；

加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；

透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；

第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及

透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间。

10.一种检查装置，其以对被检查体施加载荷的方式按压探针卡的接触端子，对所述被检查体的电子器件进行检查，其中，

该检查装置包括载置所述被检查体的载置台，

所述载置台具有：

第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；

加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；

第2冷却板，其设于所述第1冷却板之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及

透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述第2冷却板之间，使所述加热源所输出的光透过。