[发明专利]一种开关谐振器、滤波器及开关谐振器的制作方法在审
| 申请号： | 202011289196.2 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112422098A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;张金姣 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/19;H03H9/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 开关 谐振器 滤波器 制作方法 | ||
1.一种开关谐振器，其特征在于，包括衬底、上电极层、下电极层、氮化镓层、氮化镓铝层、第一电极和第二电极；
所述衬底包括通孔区；
所述下电极层设置于所述衬底的一侧；
所述氮化镓层设置于所述衬底远离所述下电极层的一侧，所述下电极层和所述氮化镓层在所述通孔区相接触；
所述氮化镓铝层设置于所述氮化镓层远离所述衬底的一侧；
所述上电极层和所述第一电极位于所述氮化镓铝层远离所述衬底的表面，且所述第一电极与所述上电极层不接触；
所述第二电极位于所述氮化镓层的远离所述第一电极的侧面。
2.根据权利要求1所述的开关谐振器，其特征在于，所述衬底的材料包括硅、氮化镓或蓝宝石。
3.根据权利要求1所述的开关谐振器，其特征在于，所述氮化镓铝层的厚度为3～5纳米。
4.根据权利要求1所述的开关谐振器，其特征在于，所述氮化镓层的厚度为200纳米～3微米。
5.一种滤波器，其特征在于，至少包括两个如权利要求1-4任一项所述的开关谐振器。
6.根据权利要求5所述的滤波器，其特征在于，至少两个所述开关谐振器通过串联、并联或者串并联的方式连接。
7.根据权利要求5所述的滤波器，其特征在于，所有所述开关谐振器的所述第一电极电连接，所有所述开关谐振器的所述第二电极电连接。
8.一种开关谐振器的制作方法，其特征在于，包括：
提供一衬底，在所述衬底一侧生长氮化镓层；
在所述氮化镓层远离所述衬底一侧生长氮化镓铝层；
刻蚀所述衬底远离所述氮化镓层的一侧形成通孔区；
在所述衬底远离所述氮化镓层一侧设置下电极层，所述下电极层和所述氮化镓层在所述通孔区相接触；
在所述氮化镓铝层远离衬底表面设置上电极层和第一电极；所述第一电极与所述上电极层不接触与所述上电极层不接触；
将第二电极设置于所述氮化镓层的远离所述第一电极的侧面。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述氮化镓铝层的厚度为3～5纳米。
10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述氮化镓层的厚度为200纳米～3微米。
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