[发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：包括主料粉末、配料粉末和微量粉末，还包括以下步骤：

S1：将主料粉末、配料粉末和微量粉末混合均匀，并过滤大颗粒杂质，保留大小均等的粉末状颗粒，得到混合粉末；

S2：将S1中过滤后保留下来的混合粉末倒入医用酒精内浸泡清洗；

S3：将浸泡后的混合粉末颗粒取出并将其放置在室温下，进行风干，室温温度为20-30摄氏度，风干时间1-2小时；

S4：将S3中风干后得到的干燥的混合粉末压制形成生坯；

S5：将S4中得到的生坯放入热压烧结炉中进行烧结，烧结过程中，热压烧结炉中加压压力设置为50-80Mpa，保压4-6小时；

S6：对S5中烧结后的生坯进行冷却降温，得到钛铝合金靶材。

2.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述主料粉末包括钛粉和铝粉，所述配料粉末包括硅粉，所述微量粉末包括铬粉。

3.根据权利要求2所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述主料粉末中钛粉和铝粉占靶材总质量百分比分别为：

钛粉：10％-50％

铝粉：50％-80％。

4.根据权利要求2所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述配料粉末中铜粉、硅粉和镁粉占靶材总质量百分比分别为：

硅粉：1％-3％。

5.根据权利要求2所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述微量粉末中铬粉占靶材总质量百分比分别为：

铬粉：0.2％-0.6％。

6.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述钛粉由纯度不低于99％的金属钛研磨而成，所述铝粉由纯度不低于99％的金属铝研磨而成。

7.根据权利要求7所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述S5中烧结过程为：先将热压烧结炉中温度升高至400-700摄氏度，保温2小时，而后再将温度降低至200-600摄氏度，同时开始加压，并且再次保温3小时。

8.根据权利要求7所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述S5中在生坯烧结时，向热压烧结炉中通入氩气对烧结的生坯进行保护。