[发明专利]一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备

权利要求书

1.一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，包括由真空腔室壁平面(201)包绕的真空腔室(100)，其特征在于：所述真空腔室(100)的内部安装有可转动的放卷轴(102a)和收卷轴(102b)，所述真空腔室(100)在放卷轴(102a)和收卷轴(102b)之间还设置有若干个可转动的冷却轴(103)，所述真空腔室壁平面(201)的外侧设有分子泵法兰接口(101)，所述真空腔室壁平面(201)的外侧还设有离子注入法兰接口(104)和磁过滤沉积法兰接口(105)，所述离子注入法兰接口(104)连接有离子注入装置，磁过滤沉积法兰接口(105)连接有磁过滤等离子体沉积装置，分子泵法兰接口(101)连接分子泵。

2.根据权利要求1所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于：所述分子泵法兰接口(101)的数量为八个。

3.根据权利要求1所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于：所述离子注入法兰接口(104)的数量为两个。

4.根据权利要求1所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于：所述磁过滤沉积法兰接口(105)的数量为六个。

5.根据权利要求1所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于：所述冷却轴与分子泵法兰接口、离子注入法兰接口(104)或磁过滤沉积法兰接口(105)中的一个或两个正对设置。

6.根据权利要求1所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于，所述放卷轴(102a)和收卷轴(102b)分别设置于真空腔室(100)内的两端。

7.根据权利要求1所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于，离子注入装置或磁过滤等离子体沉积装置能够单独或同时启动。

8.根据权利要求1所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于，所述磁过滤等离子体沉积装置分别为两组，分别为第一磁过滤等离子体沉积装置和第二磁过滤等离子体沉积装置。

9.根据权利要求8所述的一种用于COF基板的长距离宽幅柔性无胶基材的制备设备，其特征在于：该设备的使用方法具体包括以下步骤：

步骤一：将聚酰亚胺薄膜卷样品清洗烘干；

步骤二：打开真空腔室(100)，将步骤一中的样品放置在放卷轴上，牵引样品一端分别包绕若干个冷却轴后再固定到收卷轴上，并调节好张力，保持薄膜的平整，并设置运行速度；

步骤三：封闭真空腔室(100)，抽真空，启动离子注入装置，开始离子注入过程，利用金属Ti或者Ni蒸汽离子源，对薄膜表面进行金属离子注入，形成Ti或者Ni的注入层；其中，Ti或者Ni的注入电压为15-45kV，束流强度为1-10mA，所述离子源的注入剂量为1×1015—1×1016/cm2，有效处理长度510mm；

步骤四：第一磁过滤等离子体沉积装置，利用金属弧源对薄膜表面进行金属离子沉积，形成Ti或者Ni的过渡层：其中，Ti或者Ni的沉积厚度为50nm，有效处理长度510mm；

步骤五：第二磁过滤等离子体沉积装置，利用金属弧源对薄膜表面进行金属离子沉积，形成Cu的金属层：其中，Cu的沉积厚度约为50nm，有效处理长度510mm；

步骤六：打开真空腔室(100)，取出处理好的样品。