[发明专利]一种晶圆干燥装置

说明书

本发明公开了一种晶圆干燥装置，包括升降机构、安装在升降机构上的机械臂、驱动机械臂在升降机构上升降的第一电机，所述机械臂上安装有摇摆的摇摆臂以及驱动摇摆臂进行摇摆的第第二电机，所述摇摆臂上均匀安装有多个气体喷嘴，所述气体喷嘴包括加热单元，第一电机驱动机械臂进行升降来实现对不同位置的晶圆进行干燥处理，第二电机驱动摇摆臂进行摇摆实现对晶圆的不同角度进行干燥处理，提高了晶圆的干燥效果，提高了产品的良品率。

技术领域

本发明涉及晶圆加工制造技术领域，尤其涉及一种晶圆干燥装置。

背景技术

现有的晶圆干燥装置采用甩干加烘干的技术。但是晶圆要做高速旋转运动，同时会加烘干工艺，这样会对晶圆的整体稳定性有影响，严重的甚至会损坏晶圆，且不能实现对晶圆的各个角度的烘干，降低产品的良品率。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种晶圆干燥装置，解决了现有技术中存在的问题，提高了晶圆的良品率。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆干燥装置，包括升降机构、安装在升降机构上的机械臂、驱动机械臂在升降机构上升降的第一电机，所述机械臂上安装有摇摆的摇摆臂以及驱动摇摆臂进行摇摆的第第二电机，所述摇摆臂上均匀安装有多个气体喷嘴，所述气体喷嘴包括加热单元。

进一步的是：所述气体喷嘴还包括温度传感部和温控开关部，所述温度传感部安装在加热单元上，所述温控开关与加热单元和温度传感部连接。

进一步的是：所述加热单元包括腔体和加热丝，所述加热丝设置在腔体内，所述腔体包括进气口和出气口，所述进气口用于通入待加热的气体，所述出气口用于喷出加热后的气体。

进一步的是：所述气体喷嘴还包括温控开关阀，所述温控开关阀设置于腔体的出气口处，与温度传感部连接。

本发明的有益效果是：第一电机驱动机械臂进行升降来实现对不同位置的晶圆进行干燥处理，第二电机驱动摇摆臂进行摇摆实现对晶圆的不同角度进行干燥处理，提高了晶圆的干燥效果，提高了产品的良品率。

附图说明

图1为晶圆干燥装置结构示意图。

图中标记为：升降机构1、机械臂2、气体喷嘴22、加热单元23。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进一步说明。

如图1所示，一种晶圆干燥装置，包括升降机构1、安装在升降机构1上的机械臂2、驱动机械臂2在升降机构1上升降的第一电机，所述机械臂2上安装有摇摆的摇摆臂21以及驱动摇摆臂21进行摇摆的第第二电机，所述摇摆臂21上均匀安装有多个气体喷嘴22，所述气体喷嘴22包括加热单元23。

在此基础上，如图1所示，所述气体喷嘴22还包括温度传感部和温控开关部，所述温度传感部安装在加热单元23上，所述温控开关与加热单元23和温度传感部连接。

所述温度传感部对加热单元23中的气体的温度进行测量，所述温控开关部根据温度传感部检测到的气体的温度控制加热单元23的开关状态，从而使得气体喷嘴22喷出的气体维持在预设温度，第一电机驱动机械臂2进行升降来实现对不同位置的晶圆进行干燥处理，第二电机驱动摇摆臂21进行摇摆实现对晶圆的不同角度进行干燥处理，提高了晶圆的干燥效果，提高了产品的良品率。

在此基础上，如图1所示，所述加热单元23包括腔体和加热丝，所述加热丝设置在腔体内，所述腔体包括进气口和出气口，所述进气口用于通入待加热的气体，所述出气口用于喷出加热后的气体；在使用时，通过进气口将待加热的气体输入到腔体，通过所述加热单元23的加热丝对待加热的气体进行加热，通过出气口将加热后获取的高温气体喷出。

在此基础上，如图1所示，所述气体喷嘴22还包括温控开关阀，所述温控开关阀设置于腔体的出气口处，与温度传感部连接。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。