[发明专利]一种激光清洗装置及清洗方法

权利要求书

1.一种激光清洗装置，其特征在于，包括：用于发射超快脉冲激光束的第一激光源以及用于发射连续激光束的第二激光源，所述第一激光源和所述第二激光源共同连接于激光复合头，所述第一激光源的第一输出光路和所述第二激光源的第二输出光路集成设于所述激光复合头的内部。

2.根据权利要求1所述的激光清洗装置，其特征在于，所述第一激光源通过导光臂结构与所述激光复合头连接。

3.根据权利要求1所述的激光清洗装置，其特征在于，所述第二激光源通过光纤与所述激光复合头连接，所述激光复合头上设有相应的接头。

4.根据权利要求1至3任一所述的激光清洗装置，其特征在于，所述激光复合头的内部还设有合束镜，所述合束镜同时位于所述第一输出光路和所述第二输出光路的传输方向上，所述激光复合头的端面上与所述合束镜对应处设有输出端口。

5.根据权利要求4所述的激光清洗装置，其特征在于，所述输出端口处设有聚焦透镜。

6.根据权利要求1至3任一所述的激光清洗装置，其特征在于，所述第一输出光路包括分别可转动设置的第一反射镜和第一振镜；所述第二输出光路包括分别可转动设置的第二反射镜和第二振镜。

7.一种激光清洗方法，其特征在于，基于上述权利要求1-6任一所述的激光清洗装置，包括：

将连续激光束和超快脉冲激光束结合起来作为清洗激光，激光清洗通过激光复合头输出至待清洗层；其中，连续激光束和超快脉冲激光束的光路系统和工艺参数分别独立控制；

调整激光复合头，对清洗激光入射至待清洗层的位置以及入射角度进行调节。

8.根据权利要求7所述的激光清洗方法，其特征在于，还包括：

调节连续激光束和超快脉冲激光束的传输方向，对清洗激光的出光模式进行调节；

其中，清洗激光的出光模式包括：同轴出光和平行出光。

9.根据权利要求7所述的激光清洗方法，其特征在于，还包括：

根据待清洗层的清洗需求，调节清洗激光的扫描幅度和速度。

10.根据权利要求9所述的激光清洗方法，其特征在于，根据待清洗层的清洗需求，调节清洗激光的扫描幅度和速度具体包括：

根据待清洗层的厚度和幅面，调节清洗激光的扫描幅度和速度；

待清洗层的厚度越厚，清洗激光的扫描幅度越小，速度越慢；

待清洗层的幅面越大，清洗激光的扫描幅度越大，速度越快。