[发明专利]一种新型探针卡装置

说明书

本发明公开了一种新型探针卡装置，每根探针上有一个接收装置，探针固定在升降装置上，探针通过支架固定。可以根据调试的需要，升起不同的探针，一根或多根，可以方便的定位到影响的pin脚，便于设计分析原因，也可以排除直接其他针对某个模块测试的影响。

技术领域

本发明涉及晶圆测试技术领域，更具体地说是一种新型探针卡装置。

背景技术

在晶圆测试中，一般会使用一些转换装置，使晶圆最终和测试机的资源相连接，在这些转换装置中，最先与晶圆接触的是探针卡。通常的做法，一般是需要用到多少个pin，就做多少根针，在测试过程中，没有办法加上针，也没有办法减少针。但是在实际测试过程中，有些测试项，可能会被一些无关的pin干扰，影响测试项测试值的精确性。通常的做法，是通过测试机内部的继电器或者外围的继电器，把电路切断，这虽然能解决部分问题，但其实探针还是扎在pad上的，这时候的探针虽然没有电流电压经过，但是会像一根天线扎在pad上，也会影响测试项测试值的精准性。这个时候，如果要测试精准，那么需要重新去减针，减针单一，周期长，成本高。并且由于pin会复用，在A测试项无关的pin，在B测试项是相关的品。

发明内容

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种新型探针卡装置，和传统的探针卡一样，针扎在晶圆上，但是针尾不是固定的，是可以伸缩的，并且每根都是可以独立控制伸缩，其中，具体技术方案为：

每根探针上有一个接收装置，探针固定在升降装置上，探针通过支架固定。

上述的一种新型探针卡装置，其中：晶圆测试默认为高电平，启动信号为低电平，接收到启动信号后的探针会被升降装置固定；固定好后，会给升降装置信号，升降装置接收到信号后，把已经固定好的探针整体往上抬，使其与pad不接触，然后进行调试；调试完后，如有需要，使升起的针再还原。

本发明相对于现有技术具有如下有益效果：可以根据调试的需要，升起不同的探针，一根或多根，可以方便的定位到影响的pin脚，便于设计分析原因，也可以排除直接其他针对某个模块测试的影响。

附图说明

图1为一种新型探针卡装置的结构示意图。

图中：

1升降装置2支架3接收装置4探针

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的描述。

pin：引脚；

Arm：传送臂；

pad：结点。

每根探针4上有一个接收装置3，默认为高电平，启动信号为低电平，接收到启动信号后的针会被升降装置1固定。固定好后，会给升降装置1信号，升降装置1接收到信号后，把已经固定好的探针4整体往上抬，使其与pad不接触，然后进行调试。调试完后，如有需要，使升起的探针4再还原。这样，可以根据调试的需要，升起不同的探针4，一根或多根。可以方便的定位到影响的pin脚，便于设计分析原因，也可以排除直接其他针对某个模块测试的影响。