[发明专利]一种光器件在审
| 申请号: | 202011272415.6 | 申请日: | 2020-11-13 |
| 公开(公告)号: | CN112269276A | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
| 发明(设计)人: | 杨妍;唐波;张鹏;欧祥鹏;孙富君;李彬;刘若男;黄凯;谢玲;刘道群;李志华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01 |
| 代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 器件 | ||
本发明公开了一种光器件,涉及光器件技术领域,用于在加热电极加热过程中,使光波导均匀受热,从而提高光器件的工作性能。该光器件包括:基底和热场调节部。基底具有光波导、以及位于光波导上方的加热电极。加热电极具有镂空区域。热场调节部位于光波导和加热电极之间。热场调节部用于在加热电极加热过程中,调节加热电极所产生的热场的传导范围,以使光波导均匀受热。
技术领域
本发明涉及光器件技术领域,特别是涉及一种光器件。
背景技术
加热电极是光器件中非常重要的组成部分之一。具体的,加热电极在通电的情况下,能够为位于加热电极下方的光波导加热。基于热光效应,受热后的光波导,其光学性质(例如:折射率)会发生改变,从而实现对光波导内传输信号的调谐。同时,一般会在加热电极上设置镂空区域,以降低加热电极的功耗,提高加热效率。
但是,具有镂空区域的加热电极在加热过程中,无法使得光波导被均匀加热,进而使得光器件的工作性能较差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光器件,用于在加热电极加热过程中,使光波导均匀受热,从而提高光器件的工作性能。
为了实现上述目的,本发明提供一种光器件,该光器件包括:
基底,基底具有光波导、以及位于光波导上方的加热电极,加热电极具有镂空区域;
热场调节部,热场调节部位于光波导和加热电极之间,热场调节部用于在加热电极加热过程中,调节加热电极所产生的热场的传导范围,以使光波导均匀受热。
与现有技术相比,本发明提供的光器件中,基底具有光波导和加热电极。上述光波导能够对光信号进行传输。上述加热电极具有镂空区域,并位于光波导的上方。加热电极用于对光波导进行加热,实现对光波导内传输信号的调谐。此外,在上述光波导和加热电极之间还设置有热场调节部,该热场调节部能够在加热电极处于加热过程中,调节加热电极所产生的热场的传导范围,以使光波导的各个区域均匀受热。也就是说,即使为了降低加热功耗使加热电极具有镂空区域,而使得加热电极在加热过程中产生的热场的边缘高低起伏,导致光波导的各个区域不能被该热场均匀加热,也可以通过热场调节部对加热电极产生的热场的传导范围进行调节,使光波导的各个区域均位于热场的传导范围内,从而使得光波导的各个区域被均匀加热,进而确保加热电极能够按照要求对光波导内的传输信号进行调谐。由上述内容可知,本发明提供的光器件能够在降低加热功耗、提高加热效率的同时,使光波导的各个区域均匀受热,确保光波导输出的光信号满足工作要求,提高光器件的工作性能。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本发明的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1是现有技术中光器件的结构俯视示意图;
图2是本发明实施例提供的一种光器件在热场调节板所在位置的结构纵向剖视图;
图3a为本发明实施例中提供的网格型加热电极的结构示意图;
图3b为本发明实施例中提供的蛇型加热电极的结构示意图;
图3c为本发明实施例中提供的螺旋折线型加热电极的结构示意图;
图4a为本发明实施例中提供的第一种热场调节部的结构示意图;
图4b为本发明实施例中提供的第二种热场调节部的结构示意图;
图4c为本发明实施例中提供的第三种热场调节部的结构示意图;
图5a为本发明实施例中提供的网格型加热电极与热场调节部的位置关系示意图;
图5b为本发明实施例中提供的蛇型加热电极与热场调节部的位置关系示意图;
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