[发明专利]一种蓝宝石晶片研磨液及其制备方法

权利要求书

1.一种蓝宝石晶片研磨液，其特征在于：其组份按重量份数计包括：

改性硅溶胶100份；

增磨剂13～28份；

分散剂1～6份；

表面活性剂0.5～3份；

所述改性硅溶胶为含铈硅溶胶复合溶液；所述增磨剂的组分按重量份数计包括碳化硼微粉5～10份、金刚石微粉5～10份、氧化铝空心球3～8份。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片研磨液，其特征在于：所述增磨剂中，碳化硼微粉的粒径为30～55μm，金刚石微粉的粒径为25～30μm，氧化铝空心球的粒径为55～250μm。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片研磨液，其特征在于：含铈硅溶胶复合溶液为硅溶胶、铈锆掺杂硅溶胶、铈钙掺杂硅溶胶以体积比为5:0～2:0～2的比例掺合而成，其固含量为5～10％。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片研磨液，其特征在于：所述分散剂为六偏磷酸钠。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片研磨液，其特征在于：所述表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠。

6.一种根据权利要求1～5任意一项所述的蓝宝石晶片研磨液的制备方法，其特征在于：包括步骤如下：

1)制备硅溶胶母液：将市购的硅酸钠溶液抽滤后，用去离子水稀释成硅酸钠稀溶液；然后将硅酸钠稀溶液通过离子交换树脂床进行离子置换，获得活性硅酸；最后将活性硅酸pH调至碱性，再加热煮沸，陈化，得到硅溶胶母液；

2)制备铈锆掺杂硅溶胶：取步骤1)中制备的硅溶胶母液加热至95～100℃，搅拌下依次加入硫酸铈溶液、氧氯化锆溶液和活性硅酸溶液用氨水调节pH为9～10，于20℃水浴锅中陈化2h，即可获得CeO₂/ZrO₂/硅溶胶；

3)制备铈钙掺杂硅溶胶：取步骤1)中制备的硅溶胶母液加热至95～100℃，搅拌下依次加入硫酸铈溶液、氯化钙溶液和活性硅酸溶液用氨水调节pH为9～10，于20℃水浴锅中陈化2h，即可获得CeO_2/ZrO₂/硅溶胶；

4)制备改性硅溶胶：将步骤1)、2)、3)制备的硅溶胶，以体积比为5:0～2:0～2的比例混合获得改性硅溶胶，固含量控制为5～10％；

5)加入增磨剂：向步骤4)制备的硅溶胶母液中加入碳化硼微粉、金刚石微粉和氧化铝空心球作为增磨剂，同时加入分散剂和表面活性剂，高速搅拌5～6min后，低速搅拌20min，使其分散均匀，即获得蓝宝石晶片研磨液。

7.根据权利要求6所述的蓝宝石晶片研磨液的制备方法，其特征在于：步骤1)中，所述离子交换树脂床为732型强酸性苯乙烯系阳离子交换树脂；调节pH用的是5％的NaOH溶液。

8.根据权利要求7所述的蓝宝石晶片研磨液的制备方法，其特征在于：所述离子交换树脂床使用前需经冲洗处理，所述冲洗处理为：用饱和食盐水浸泡18～20h，清水漂净，再用2％～4％NaOH溶液浸泡2～4h，冲洗至中性，最后用5％HCl溶液浸泡12小时，待用。

9.根据权利要求6所述的蓝宝石晶片研磨液的制备方法，其特征在于：步骤2)和3)中，所述铈钙掺杂硅溶胶和硅溶胶母液的浓度均为10％～30％。

10.根据权利要求6所述的蓝宝石晶片研磨液的制备方法，其特征在于：步骤5)，所述高速搅拌速度为2000rpm，低速搅拌速度为100～900rpm。