[发明专利]高精度智能气体压力源

权利要求书

1.高精度智能气体压力源，其特征在于：包括微型气压泵(1)、气容A(2)、压力开关A(3)、比例阀(4)、电动高压泵(5)、过滤器(6)、气容B(7)、电磁阀C(8)、气容C(9)、气动阀(10)、压力开关B(11)、负压传感器(12)、电磁阀A(13)、真空泵(14)、压力开关C(15)、气容D(16)、压力传感器(17)、电磁阀B(18)、输出端(19)、电磁阀D(20)、仪器控制系统(21)；

微型气压泵(1)、气容A(2)、比例阀(4)、气容C(9)依次连接，连接到气动阀(10)的驱动端上；压力开关A(3)通过其电路开关量控制功能控制微型气压泵(1)的上电，通过其气路开关控制在指定压力时的微型气压泵(1)的开启和关闭；所述的电磁阀D(20)的功能是卸压、通大气，即在整个装置工作结束时，放掉气容A(2)中存储的气体压力，使装置卸压回到通大气状态；微型气压泵(1)、气容A(2)、压力开关A(3)、比例阀(4)共同组成气动阀(10)的驱动源部分，用于给正压输出通路的气动阀(10)提供驱动源；

电动高压泵(5)、过滤器(6)、气容B(7)、气动阀(10)、气容D(16)、输出端(19)依次连接；压力开关B(11)通过其电路开关量控制功能控制电动高压泵(5)的上电，通过其气路开关控制在某一指定压力时的电动高压泵(5)的开启和关闭；所述的电磁阀C(8)的功能是卸压、通大气，即在整个高精度智能气体压力源工作结束时，放掉气容B(7)中存储的气体压力，使高精度智能气体压力源卸压回到通大气状态；所述的电磁阀B(18)的功能是负压输出时切断压力传感器(17)通路，以免造成压力传感器(17)损坏；压力传感器(17)连接在电磁阀B(18)的另一端，用于实时监测并采集正压压力输出；电动高压泵(5)、过滤器(6)、气容B(7)、电磁阀C(8)、气容C(9)、气动阀(10)、压力开关B(11)、气容D(16)、压力传感器(17)、电磁阀B(18)、输出端(19)共同组成整个高精度智能气体压力源的正压输出通路；

真空泵(14)、电磁阀A(13)、气容D(16)、输出端(19)依次连接；所述的负压传感器(12)用于实时监测并采集负压输出；所述的电磁阀A(13)的功能是切断负压气路部分，防止正压加压时对负压传感器(12)造成影响和损坏；压力开关C(15)通过其电路开关量控制功能控制真空泵(14)的上电，通过其气路开关控制在某一指定压力时的真空泵(14)的开启和关闭；所述的电磁阀B(18)用于当负压输出时切断压力传感器(17)通路，以免造成压力传感器(17)损坏；当压力传感器(17)采用绝压或者量程覆盖预定负压的表压传感器时，电磁阀B(18)能够省略；负压传感器(12)、电磁阀A(13)、真空泵(14)、压力开关C(15)、气容D(16)、输出端(19)共同组成整个高精度智能气体压力源的负压输出通路；

所述的微型气压泵(1)的功能是给比例阀(4)提供驱动气源；

所述的比例阀(4)的功能是给气动阀(10)提供合适精确的驱动压力，以控制气动阀(10)的开启和关闭；

所述的气容A(2)、气容B(7)、气容C(9)、气容D(16)的功能是储能，减小压力波动和压力调节输出的分辨率；

所述的电动高压泵(5)的功能是给整个气体压力源提供气源，产生气体正压压力；

所述的过滤器(6)的功能是过滤电动高压泵(5)产生的气体，以给整个装置提供纯净的气体，防止损坏各种精密压力阀门及传感器；

所述的气动阀(10)的功能是控制装置输出指定的正压压力；气动阀(10)是以气体压力作为控制信号来控制阀的压力输出的，即阀的输出压力与其驱动气体压力之间存在一定的函数关系，因此需要对气动阀(10)进行大量的标定试验，从而确定输出压力与驱动压力之间的函数关系，根据函数关系，给气动阀(10)以不同的驱动压力，能够快速准确的使输出压力达到规定的目标压力；

所述的真空泵(14)的功能是抽取气体，为整个气体压力源提供负压输出源；

所述的输出端(19)的功能是整个气源的输出端(19)，用于输出高精度气体压力；

所述的仪器控制系统(21)的功能是通过控制压力开关、比例阀(4)、电磁阀，智能、全自动的控制仪器输出指定的正压、负压压力。

2.如权利要求1所述的高精度智能气体压力源，其特征在于：所述量程覆盖预定负压为-100kPa。