[发明专利]一种6N旋转靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202011254987.1 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112323027A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 郑巧;郑好;郑好巧妙 | 申请（专利权）人： | 四川华芯腾科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23G1/10;C22C1/02;B23P15/00 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 637000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 及其 制备 方法 | ||
1.一种6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将6N铜原料表面打磨后采用混合溶液酸洗10-20min，然后依次用清水和酒精冲洗，烘干，得预处理铜原料；所述混合溶液为硝酸溶液和氢氟酸溶液按体积比1:1-2；
(2)将步骤(1)所得预处理铜原料在400-600℃温度下预热1-3h，然后在1100-1200℃温度下熔炼，熔化完全后再升温20-100℃过热保温10-20min，浇筑，冷却，得铜棒；
(3)将步骤(2)所得铜棒在模具固定下钻机扩孔4-6次，得6N旋转靶材。
2.如权利要求1所述的6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述混合溶液为硝酸溶液和氢氟酸溶液按体积比1:1-1。
3.如权利要求1或2所述的6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述硝酸溶液浓度为0.6-1vt％，所述氢氟酸浓度为3-5vt％。
4.如权利要求1所述的6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，采用电磁感应加热。
5.如权利要求1所述的6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，熔炼时，真空度为3-5×10-2Pa。
6.如权利要求1所述的6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，在高纯度炉体中熔炼。
7.如权利要求1所述的6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，将铜棒通过中空管状模具固定，钻机扩孔时采用水冷，钻机压力为100-150t。
8.如权利要求1所述的6N旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，铜棒130mm，6N旋转靶材内径125mm，外径167mm；模具内径167mm。
9.权利要求1-8任一项所述的6N旋转靶材的制备方法制得的6N旋转靶材。
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