[发明专利]调谐激光器芯片有效
| 申请号： | 202011250258.9 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112366517B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 孙文惠;徐长达;班德超;陈伟;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/125;H01S5/14;H01S5/06;H01S5/065 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调谐 激光器 芯片 | ||
1.一种调谐激光器芯片，包括：
后向光栅区(1)、第一增益区(2)、微环谐振腔(c)及前向光栅区(5)；
所述微环谐振腔(c)包括依次环形连接的第二增益区(3)、第一多模干涉波导(6)、调相区(4)及第二多模干涉波导(7)；所述后向光栅区(1)连接至所述第一增益区(2)，所述第一增益区(2)连接至所述第一多模干涉波导(6)，所述前向光栅区(5)连接至所述第二多模干涉波导(7)；
其中，所述后向光栅区(1)与所述前向光栅区(5)构成布拉格反射谐振腔，所述第二增益区(3)与所述调相区(4)构成增益谐振腔；
所述微环谐振腔(c)的FSR大于或等于所述布拉格反射谐振腔光栅阻带宽度的二分之一。
2.根据权利要求1所述的调谐激光器芯片，其中，所述后向光栅区(1)为布拉格光栅刻蚀波导层，其入光端镀有反射膜。
3.根据权利要求1所述的调谐激光器芯片，其中，所述前向光栅区(5)为布拉格光栅刻蚀波导层，其出光端镀有增透膜。
4.根据权利要求1所述的调谐激光器芯片，其中，所述后向光栅区(1)与所述前向光栅区(5)存在预设周期差。
5.根据权利要求1所述的调谐激光器芯片，其中，所述第一增益区(2)具有L波段的增益谱范围。
6.根据权利要求5所述的调谐激光器芯片，其中，所述增益谱波长范围包括1570nm-1610nm。
7.根据权利要求1所述的调谐激光器芯片，其中，所述第二增益区(3)具有L波段的增益谱范围。
8.根据权利要求7所述的调谐激光器芯片，其中，所述增益谱波长范围包括1570nm-1610nm。
9.根据权利要求1所述的调谐激光器芯片，其中，所述调相区(4)为无源波导结构。
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