[发明专利]遮光片及其消光处理方法在审

专利信息
申请号: 202011242975.7 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN112363359A 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 肖兵 申请(专利权)人: 昆山丘钛微电子科技有限公司
主分类号: G03B11/00 分类号: G03B11/00;G02B1/12;G03B30/00
代理公司: 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 代理人: 边晓红
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 遮光 及其 处理 方法
【权利要求书】:

1.一种遮光片的消光处理方法,其特征在于,所述消光处理方法包括:

将遮光片置于发黑液溶液中处理45分钟~2小时;

取出后清洗所述遮光片;

将遮光片置于脱水防锈油中处理2~5分钟;以及

取出后清洗所述遮光片并烘干。

2.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,所述发黑液溶液包含发黑液,所述发黑液为KR-FH01发黑液,所述脱水防锈油为KR-FR01脱水防锈油。

3.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,所述发黑液溶液为发黑液与水按照1:(3~5)的比例进行混合的溶液。

4.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,所述发黑液溶液包含发黑液,所述发黑液包括硫酸铜3.0-5.0g/L、焦磷酸钾0.8-1.2g/L、硫酸镍0.1~0.4g/L、钼酸铵0.1~0.4g/L、烷基酚聚氧乙烯醚(OP-10)0.1~0.4g/L,以及复合添加剂(CH2011)0.1~0.4g/L,所述发黑液的PH值为2.0~2.5。

5.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,所述发黑液溶液包含发黑液,所述发黑液包括硫酸铜6~8g/L、亚硒酸钠7~9g/L、磷酸二氢锌11~13g/L、硝酸钾2~4g/L、柠檬酸钠3~5g/L,以及碳酸铵和六次甲基四胺(1:1)混合液8~12g/L;所述发黑液的PH值为2.0~2.5。

6.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,所述脱水防锈油包括甘油、正丁醇及叔丁醇中的至少一种,缓蚀剂,基础油以及辅助添加剂,其中所述缓蚀剂选自脂肪酸或环烷酸的碱土金属盐、环烷酸铅、环烷酸锌、石油磺酸钠、石油磺酸钡、石油磺酸钙、三油酸牛脂二胺、松香胺、失水山梨醇单油酸酯、聚乙二醇二油酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、油酰基肌氨酸及其胺盐、酰胺咪唑啉及烷基磷酸酯中的至少一种,所述辅助添加剂包括消泡剂和助溶剂,消泡剂包括甲基硅油,助溶剂包括邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二辛酯、乙醇和丁醇中的至少一种。

7.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,于步骤“将遮光片置于发黑液溶液中处理45分钟~2小时”之前,将所述遮光片进行超声波清洗。

8.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,步骤“将遮光片置于发黑液溶液中处理45分钟~2小时”于40℃~60℃的温度下进行。

9.如权利要求1所述的消光处理方法,其特征在于,使用20℃~30℃的温水清洗所述遮光片。

10.一种遮光片,其特征在于,所述遮光片经权利要求1~9任一项所述的消光处理方法进行处理。

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