[发明专利]一种声波谐振器有效
| 申请号： | 202011240566.3 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112272015B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;郑鹏程;张师斌;周鸿燕;吴进波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 | ||
1.一种声波谐振器，其特征在于，所述声波谐振器包括：
底电极；
压电膜结构，形成于所述底电极的上方；
顶电极，形成于所述压电膜结构的上方；
其中，所述压电膜结构包括至少两层叠置的压电膜，相邻两层压电膜之间具有不同的欧拉角，各所述压电膜在各自欧拉角下的压电系数表示为
当在所述压电膜结构中激发厚度剪切波时，各所述压电膜在各自欧拉角下的压电向量均满足模长且相邻两层压电膜的压电向量位于不同象限；
当在所述压电膜结构中激发厚度伸缩波时，各所述压电膜在各自欧拉角下的压电系数e33的绝对值均大于0.5C/m2，且相邻两层压电膜的压电系数e33符号相反。
2.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述压电膜在欧拉角(α，β，γ)下的压电系数其中，e0为所述压电膜在欧拉角(0，0，0)下的压电系数，
3.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述声波谐振器还包括：至少一层中间介质层，形成于任一相邻两层压电膜之间。
4.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，各所述压电膜的厚度均小于20μm，相邻两层压电膜的厚度比介于0.5-2之间。
5.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，各所述压电膜的材料相同，包括：单晶铌酸锂、单晶钽酸锂或单晶铌酸钾中的一种。
6.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述底电极包括：面电极、叉指电极或多边形电极中的一种，所述顶电极包括：面电极、叉指电极或多边形电极中的一种。
7.根据权利要求6所述的声波谐振器，其特征在于，在所述顶电极为叉指电极时，所述声波谐振器还包括：顶部介质层，形成于所述叉指电极空隙处的所述压电膜结构的上方。
8.根据权利要求6所述的声波谐振器，其特征在于，在所述顶电极为叉指电极时，所述声波谐振器还包括：沟槽结构，形成于所述叉指电极空隙处的所述压电膜结构中。
9.一种声波谐振器，其特征在于，所述声波谐振器包括：
压电膜结构，包括至少两层叠置的压电膜，相邻两层压电膜之间具有不同的欧拉角，各所述压电膜在各自欧拉角下的压电系数表示为
叉指电极，形成于所述压电膜结构的上方或任一相邻两层压电膜之间；
当在所述压电膜结构的水平方向上施加电场并激发厚度剪切波时，各所述压电膜在各自欧拉角下的压电系数e15的绝对值均大于0.5C/m2，且相邻两层压电膜的压电系数e15符号相反。
10.根据权利要求9所述的声波谐振器，其特征在于，所述压电膜在欧拉角(α，β，γ)下的压电系数其中，e0为所述压电膜在欧拉角(0，0，0)下的压电系数，
11.根据权利要求9所述的声波谐振器，其特征在于，所述声波谐振器还包括：至少一层中间介质层，形成于任一相邻两层压电膜之间。
12.根据权利要求9所述的声波谐振器，其特征在于，各所述压电膜的厚度均小于20μm，相邻两层压电膜的厚度比介于0.5-2之间。
13.根据权利要求9所述的声波谐振器，其特征在于，各所述压电膜的材料相同，包括：单晶铌酸锂、单晶钽酸锂或单晶铌酸钾中的一种。
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