[发明专利]一种立式蒸发溅射一体化设备的测量载具

权利要求书

1.一种立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，包括基础框架，所述的基础框架由顶部框架板、侧面框架板和底部框架板构成，顶部框架板与底部框架板之间安装有中间封板，中间封板与侧面框架板之间安装有均热板，顶部框架板顶部安装有顶部导轨，底部框架板底部安装有底部导轨，其特征在于：

中间封板上安装有纵向长齿条，纵向长齿条两侧分布有两列相互对称的硅片安装槽，所述的硅片安装槽位于中间封板上；纵向长齿条靠近顶部框架板的1/3处与二级齿轮啮合，二级齿轮与一级齿轮啮合，一级齿轮与横向短齿条啮合，横向短齿条安装在测量载具通过的狭缝腔的腔壁上，一级齿轮通过一级齿轮轴安装在中间封板上，二级齿轮通过二级齿轮轴安装在中间封板上；中间封板上还通过挡板齿轮轴安装有两列挡板齿轮，挡板齿轮轴上还固定连接有硅片镀膜挡板，所述的挡板齿轮轴位于硅片安装槽与纵向长齿条之间，挡板齿轮与纵向长齿条啮合。

2.根据权利要求l所述的立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，其特征在于：一级齿轮采用棘齿结构。

3.根据权利要求2所述的立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，其特征在于：一级齿轮的齿数与二级齿轮的齿数比为1：2。

4.根据权利要求l所述的立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，其特征在于：横向短齿条的长度是当硅片镀膜挡板旋转180度后，横向短齿条正好与一级齿轮自动脱离。

5.根据权利要求l所述的立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，其特征在于：硅片镀膜挡板为1mm厚的不锈钢板。

6.根据权利要求l所述的立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，其特征在于：中间封板上还固定有挡板导引定位条，所述的挡板导引定位条位于硅片安装槽远离纵向长齿条的一侧，硅片镀膜挡板在旋转时通过挡板导引定位条导引定位。

7.根据权利要求6所述的立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，其特征在于：挡板导引定位条采用斜坡式结构，入口大、内部小。