[发明专利]制造光感测装置和具有平面内及出平面运动的装置的方法

说明书

本发明提供一种制造具有平面内及出平面运动的一装置的方法，该方法包括：提供一平面内运动驱动器，用于相对于一参考平面以三个自由度移动安装于其上的一应用组件；以及提供一出平面运动驱动器，于其上承载该平面内运动驱动器，且该出平面运动驱动器具有一底部板以及设置于该底部板上的一单轴致动器，其中该单轴致动器具有一致动端，以及该致动端赋能该应用组件相对于该参考平面以不同于该三个自由度的第四个自由度移动。

技术领域

本公开涉及一种制造光感测装置的方法。更具体地，本公开涉及一种制造具有平面内及出平面运动的装置的方法。

背景技术

微机电系统(MEMS，Microelectromechanical System)致动器具有许多优点，例如小尺寸，低成本，精确的运动控制和低功率消耗，这使其适用于小巧型电子设备或系统中的应用。然而，对于MEMS致动器而言，实现具有6个自由度(DOF)的运动是非常困难的，特别是当需要具有行程精度变得更小于约0.5mm的自动对焦装置时。因此，本发明公开了一种使用MEMS致动器的装置及其组装方法以利用来实现具有6自由度的长行程运动的硅驱动器的解决方案及其在光感测装置中的应用。

另外，照相机中的光学影像稳定(OIS)的设计仅提供了二维的减振，即垂直(或z-)方向(上下)和水平(或x-)方向(左右)。问题是，无法提供照相机中镜头在轴向(或y-)(向前和向后)的减振效果，更不用说在倾斜(包含偏航(yaw)、俯仰(pitch)和滚转(roll)) 方向上的减振。

此外，诸如具有光学影像稳定、自动对焦和高分辨率功能的照相机的光感测装置需要大的空间来容纳大的光学和机械系统。这样给用户带来携带和操作这种大相机的不便。

因此，本申请人已经公开了一种光感测装置及用于制造光感测装置的方法，以改善上述现有技术的问题，并且提供了一种具有一体且小巧的设计的光感测装置，该光感测装置适合于全方向减振、自动对焦、和高分辨率应用。

发明内容

本申请之一目的在于提供一种光感测装置的制造方法，该方法包括：提供一平面内运动驱动器，包括以下子步骤：提供一传感器，其配置以感测一光；提供一电路板，其具有包含一中央空腔及一第一底部基部、及设置于该第一底部基部上的一电路板框，其中该第一底部基部具有一第一底部表面；设置一引线框于该中央空腔内，该引线框具有一第二底部表面及四个软性弹簧；以及于该引线框上安装一平面内运动致动器，该平面内运动致动器具有一可动内框及一固定外框；以及提供一出平面运动驱动器，包含以下子步骤：提供一基部板，其具有一基部板表面及设置于该基部板表面的一周围上的一基部板框，该基部板平面具有一法线方向；以及于该基部板平面上设置四个单轴致动器驱动器，该四个单轴致动器驱动器的每一个具有一单轴致动器，各该单轴致动器具有一致动端，且该每一个单轴致动器沿平行于该法线方向的一方向移动该分别的致动端，以及将该第一底部表面附着于该基部板框，且将该第二底部表面设置于该四个致动端之上。

本申请之另一目的在于提供一种制造具有平面内及出平面运动的一装置的方法，该方法包括：提供一平面内运动驱动器，用于相对于一参考平面以三个自由度移动安装于其上的一应用组件：提供一出平面运动驱动器，于其上承载该平面内运动驱动器，且该出平面运动驱动器具有一底部板以及设置于该底部板上的一第一单轴致动器，其中：该第一单轴致动器具有一第一致动端，以及该第一致动端赋能该应用组件相对于该参考平面以不同于该三个自由度的第四个自由度移动。

附图说明

本发明的上述目的及优点在参阅以下详细说明及附随图式之后对那些所属技术领域中具有通常知识者将变得更立即地显而易见。

图1是显示根据本发明的一个实施例的光感测装置的示意性分解图。

图2是显示根据本发明的一个实施例的平面内运动驱动器的示意图。

图3是显示根据本发明的一个实施例的平面内运动致动器的示意图。

图4是根据本发明的实施例的微机电致动器的俯视图。