[发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202011231607.2 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN114525479A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 黄永香 | 申请（专利权）人： | 湖南七点钟文化科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C14/00;B22F1/14;B22F1/052;C22C1/02;C22F1/18;C21D1/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟 |
| 地址： | 410300 湖南省湘潭*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
A)将钛粉和铝粉置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；
B)将所述混合物采用滚动加热熔炼工艺制备钛铝合金靶材生坯，将所述钛铝合金靶材生坯进行热压烧结，得到钛铝合金靶材粗品；
C)将所述钛铝合金靶材粗品进行退火，得到钛铝合金靶材。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤A)中，所述钛粉和所述铝粉的质量比为(6～8)：(2～4)，所述钛粉的费氏平均粒度为1～7μm，所述铝粉的费氏平均粒度为1～7μm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钛粉和所述铝粉的质量比为7:3。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤A)中，所述真空滚动混料机的转速为50～80r/min，压力为2*10°Pa。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤B)中，所述滚动加热熔炼工艺的转速为20～100r/min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤B)中，所述热压烧结的压力为1～10MPa，温度为800～1000℃，时间为6～7h。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述退火的温度为700～1000℃，时间为3～4h。
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