[发明专利]一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置及方法

权利要求书

1.一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，包括测试电脑、电压信号检测装置、直流电源、PCB板、屏蔽体和辐射源；其中，所述PCB板上设置有MEMS加速度计，所述MEMS加速度计包括检测电路和敏感结构；

所述测试电脑、所述电压信号检测装置和所述直流电源设置在测试间，所述辐射源、所述屏蔽体和所述PCB板设置在辐射间；

所述测试电脑与所述电压信号检测装置连接，所述电压信号检测装置与所述MEMS加速度计连接，所述直流电源对所述MEMS加速度计上的检测电路和敏感结构供电；所述辐射源发射射线，所述检测电路外设置有屏蔽体，用于屏蔽所述辐射源发射的射线。

2.根据权利要求1所述一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，所述屏蔽体的厚度根据所述辐射源的射线能量确定。

3.根据权利要求2所述一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，所述屏蔽体的材料采用高原子序数材料。

4.根据权利要求3所述一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，所述屏蔽体的形状根据所述辐射源对检测电路的辐射范围设置。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，所述PCB板上两侧等间距安装有多个等高支柱。

6.根据权利要求1所述一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，所述辐射源为光子类辐射源。

7.根据权利要求1所述一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，所述检测电路和所述敏感结构按照预设距离设置在所述PCB板上。

8.根据权利要求7所述一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置，其特征在于，通过梯度设置所述检测电路和所述敏感结构之间的距离，选取抗干扰效果最好的距离作为预设距离。

9.一种基于权利要求1-7任一项所述的MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置的测试方法，其特征在于，包括：

通过蒙特卡罗仿真软件对辐射源的粒子输运过程进行仿真，获取屏蔽效能大于预设值的屏蔽体厚度作为有效屏蔽体厚度，基于所述有效屏蔽体厚度选取对应的屏蔽体；

启动直流电源对所述检测电路和所述敏感结构供电，所述检测电路对所述敏感结构进行检测，以获取第一零位输出电压数据；

所述测试电脑获取测试指令，并基于所述测试指令启动所述电压信号检测装置，按照预设检测频率检测并记录所述检测电路输出的所述第一零位输出电压数据；

基于基准数据提取条件，从所述第一零位输出电压数据中选择基准数据，计算所述基准数据的平均值作为基准零位输出电压，计算所述基准数据的标准差作为基准零偏稳定性数据；

在辐射源开启时，所述检测电路对所述敏感结构进行检测，以获取第二零位输出电压数据；

所述电压信号检测装置按照预设检测频率检测并记录所述检测电路输出的所述第二零位输出电压数据；

基于待计算数据提取条件，从所述第二零位输出电压数据中选择待计算数据，并计算所述待计算数据的平均值作为待计算零位输出电压，计算所述待计算数据的标准差作为待计算零偏稳定性数据；

将所述待计算零位输出电压与所述基准零位输出电压进行比较，所述待计算零偏稳定性数据与所述基准零偏稳定性数据进行比较，获取测试结果。

10.根据权利要求9所述一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试方法，其特征在于，所述将所述待计算零位输出电压与所述基准零位输出电压进行比较，所述待计算零偏稳定性数据与所述基准零偏稳定性数据进行比较，获取测试结果，包括：

当所述待计算零位输出电压与所述基准零位输出电压的差值在第一预设误差范围内，且所述待计算零偏稳定性数据与所述基准零偏稳定性数据的差值在第二预设误差范围内，则测试结果为可以正常使用；

当所述待计算零位输出电压与所述基准零位输出电压的差值不在第一预设误差范围内，或所述待计算零偏稳定性数据与所述基准零偏稳定性数据的差值不在第二预设误差范围内，则测试结果为无法正常使用。