[发明专利]一种碱性蚀刻药液及其制备方法

权利要求书

1.一种碱性蚀刻药液，其特征在于，由以下重量份的原料制成：氢氧化钠96.64-98.86份、络合剂0.04-0.06份、表面活性剂0.1-0.3份、四元缓蚀剂1-3份、去离子水适量；

所述络合剂为酒石酸钠、柠檬酸钠、山梨醇中的任意一种；

所述表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠；

所述四元缓蚀剂由L-半胱氨酸、十六烷基三甲基溴化铵、抗坏血酸、碘化钾组成；

所述L-半胱氨酸、十六烷基三甲基溴化铵、抗坏血酸、碘化钾的质量比4：3：50：6；

所述四元缓蚀剂的制备方法为：将L-半胱氨酸、十六烷基三甲基溴化铵、抗坏血酸、碘化钾按一定质量比混合均匀，控制纯度不低于99％即可。

2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻药液，其特征在于，由以下质量比例的原料制成：氢氧化钠97.75份、络合剂0.05份、表面活性剂0.2份、四元缓蚀剂2份、去离子水适量。

3.根据权利要求1所述的碱性蚀刻药液，其特征在于，所述去离子水添加量控制为蚀刻药液中氢氧化钠浓度为15-25g/L。

4.一种如权利要求1-3任一项所述的碱性蚀刻药液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将去离子水倒入药液池中；(2)依次向药液池中加入氢氧化钠和络合剂，搅拌均匀；(3)继续向药液池中加入表面活性剂和四元缓蚀剂，搅拌均匀得到碱性蚀刻药液。

5.根据权利要求1所述的碱性蚀刻药液，其特征在于，所述蚀刻药液使用时温度为40-50℃，作业时间为1-3分钟。