[发明专利]一种高灵敏微流控流速探测装置

说明书

本发明提供了一种高灵敏微流控流速探测装置，包括微流控芯片、第一支撑部、第二支撑部、柔性层、底贵金属部、顶贵金属部，微流控芯片的表面设有流体通道，第一支撑部和第二支撑部分别设置在流体通道的两侧，柔性层置于第一支撑部和第二支撑部之间，柔性层包覆流体通道，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口，底贵金属部设置在柔性层上，顶贵金属部的两端分别固定在第一支撑部和第二支撑部上，顶贵金属部与底贵金属部分离。本发明具有流速探测精度高的优点。

技术领域

本发明涉及微流控流速探测领域，具体涉及一种高灵敏微流控流速探测装置。

背景技术

微流控技术是流体物理学、生物激光技术、微反应器等领域科学研究的重要平台。微流流速检测是微流控技术的重要环节。传统基于热传递和悬臂梁形变的流速检测技术的精度低。

发明内容

为解决以上问题，本发明提供了一种高灵敏微流控流速探测装置，包括微流控芯片、第一支撑部、第二支撑部、柔性层、底贵金属部、顶贵金属部，微流控芯片的表面设有流体通道，第一支撑部和第二支撑部分别设置在流体通道的两侧，柔性层置于第一支撑部和第二支撑部之间，柔性层包覆流体通道，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口，底贵金属部设置在柔性层上，顶贵金属部的两端分别固定在第一支撑部和第二支撑部上，顶贵金属部与底贵金属部分离。

更进一步地，第一支撑部和第二支撑部为透明材料。

更进一步地，第一支撑部和第二支撑部的材料为二氧化硅。

更进一步地，底贵金属部和顶贵金属部的材料为金或银。

更进一步地，顶贵金属部为贵金属薄膜。

更进一步地，柔性层的材料为聚二甲基硅氧烷。

更进一步地，柔性层的厚度小于50微米。

更进一步地，在流体通道的顶部，柔性层薄，在微流控芯片的顶部，柔性层厚。

更进一步地，底贵金属部为贵金属薄膜。

更进一步地，底贵金属部为贵金属颗粒。

本发明的有益效果：本发明提供了一种高灵敏微流控流速探测装置，包括微流控芯片、第一支撑部、第二支撑部、柔性层、底贵金属部、顶贵金属部，微流控芯片的表面设有流体通道，第一支撑部和第二支撑部分别设置在流体通道的两侧，柔性层置于第一支撑部和第二支撑部之间，柔性层包覆流体通道，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口，底贵金属部设置在柔性层上，顶贵金属部的两端分别固定在第一支撑部和第二支撑部上，顶贵金属部与底贵金属部分离。应用时，激光从第一支撑部耦合进入顶贵金属部和底贵金属部之间，在顶贵金属部和底贵金属部之间传播，光探测器探测从第二支撑部出射光的强度；流体在流体通道内流动，柔性层受到压力向外弯曲，从而改变了顶贵金属部和底贵金属部之间的距离，从而改变了光的透射系数，通过探测光的透射系数实现流体流速测量。因为光的透射系数严重地依赖于顶贵金属部和底贵金属部之间的距离，所以本发明具有流速探测精度高的优点。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是一种高灵敏微流控流速探测装置的示意图。

图2是又一种高灵敏微流控流速探测装置的示意图。

图3是再一种高灵敏微流控流速探测装置的示意图。

图中：1、微流控芯片；2、流体通道；3、第一支撑部；4、第二支撑部；5、柔性层；6、底贵金属部；7、顶贵金属部。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。