[发明专利]一种氧化镁靶材与背板焊接的方法在审
| 申请号： | 202011200370.1 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112355427A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 | 申请（专利权）人： | 河南东微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/08 | 分类号： | B23K3/08;B23K103/08 |
| 代理公司： | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人： | 李伟 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化镁 背板 焊接 方法 | ||
1.一种氧化镁靶材与背板焊接的方法，其特征在于：具体操作步骤如下：
提供氧化镁靶材，用耐高温胶带包裹靶材溅射面防止污染；
将氧化镁靶材焊接面和背板焊接面进行钢涮打磨后再喷砂处理；
将氧化镁靶材和背板以焊接面向上平放在加热平台上进行预热处理；
将钎料在坩埚中加热至熔融态后倒入靶材焊接面和背板焊接面上，均匀摊铺；
用超声波从垂直于钎料方向施加于氧化镁靶材和背板表面至钎料完全摊铺焊接面，冷却至室温；
将氧化镁靶材焊接面对接在背板焊接面上，加压并按加热制度加热处理；
经刮去多余的钎料后，完成氧化镁靶材与背板的焊接。
2.根据权利要求1所述的一种氧化镁靶材与背板焊接的方法，其特征在于：背板为铜、铝、铜或铝合金、不锈钢。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述用钢涮打磨之后还应对氧化镁靶材和背板焊接面进行清洗，清洗液为异丁醇、混丙醇、无水酒精一种或几种。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述喷砂之后还应对氧化镁靶材和背板焊接面进行清洗，清洗液为异丁醇、混丙醇、无水酒精一种或几种，清洗后的氧化镁靶材和背板用气枪吹干。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的喷砂处理工艺参数包括：采用的砂粒为200目金刚石砂粒，采用的空气压力范围为0.1～0.3Mpa。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述喷砂处理后氧化镁靶材和背板焊接面形成平均深度为3～8μm粗糙层。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述预热处理温度为170～250℃。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的钎料为含In的质量分数为95%～99%、含Sn的质量分数为0.5%～4%、含Ga的质量分数为0.5～1%。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的加压压力为0.05～10 Kpa。
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的加热制度为：
a)加热：以3～5℃/min升至100℃保温20～60min，以3～5℃/min升至180～220℃保温60～120min，以3～5℃/min升至230～250℃保温60～90min；
b）降温：以2～4℃/min降至120～150℃保温30～50min，空冷至室温。
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