[发明专利]加热组件和硅片加工设备

权利要求书

1.一种加热组件，其特征在于，包括：

板体(100)；

加热件(140)，设于所述板体(100)的底部；

所述板体(100)的顶部设有应力槽(102)，

其中，所述应力槽(102)为盲槽。

2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，

所述应力槽(102)的数量为多个，多个所述应力槽(102)中，一部分所述应力槽(102)在所述板体(100)上横向设置，另一部分所述应力槽(102)在所述板体(100)上纵向设置。

3.根据权利要求1或2所述的加热组件，其特征在于，

所述板体(100)的底部还设有收纳槽(104)，所述加热件(140)设于所述收纳槽(104)内。

4.根据权利要求1或2所述的加热组件，其特征在于，

所述板体(100)的底部还设有多个加热区；

每个所述加热区上分别设有所述加热件(140)；

所述板体(100)上还设有隔断槽(106)，相邻的所述加热区之间设有所述隔断槽(106)，所述隔断槽(106)贯穿所述板体(100)的顶部和底部。

5.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，

所述隔断槽(106)的数量为多个，多个所述隔断槽(106)间隔地分布。

6.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，

多个所述加热区在所述板体(100)上由内向外依次分布。

7.根据权利要求6所述的加热组件，其特征在于，

多个所述加热区中的所述加热件(140)的数量，由内向外逐渐增加。

8.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于，还包括：

隔气件(160)，设于所述板体(100)的底部，并覆盖在所述收纳槽(104)上，所述隔气件(160)用于防护所述加热件(140)。

9.根据权利要求8所述的加热组件，其特征在于，还包括：

出线密封法兰(180)，设于所述板体(100)的底部，所述加热件(140)的两端从所述出线密封法兰(180)处引出。

10.一种硅片加工设备，其特征在于，包括：

加工腔体(200)；

如权利要求1至9中任一项所述的加热组件，至少部分所述加热组件设于所述加工腔体(200)内，所述加热组件(10)用于在所述加工腔体(200)内加热硅片。