[发明专利]真空镀膜设备的控制方法、控制系统和真空镀膜设备

说明书

本发明提出了一种真空镀膜设备的控制方法、控制系统和真空镀膜设备。一种真空镀膜设备的控制方法包括：基于真空镀膜设备上电的情况下，检测转换腔内的第一压强值，根据第一压强值确定基准大气压强值；响应于预设控制指令，检测转换腔内的第二压强值；根据第二压强值和基准大气压强值，控制转换腔开腔，并检测转换腔内的第三压强值；根据第三压强值更新基准大气压强值。通过本发明提供的真空镀膜设备的控制方法，能够实时跟踪当前(每时每刻)的大气压变化，进而自动校准基准大气压开腔安全范围，有效解决了大气压误差变化大的影响，从而有效避免了产生碎片的情况，继而有效保证了产能。

技术领域

本发明涉及工控技术领域，具体而言，涉及一种真空镀膜设备的控制方法，一种真空镀膜设备的控制系统，一种真空镀膜设备，一种计算机可读存储介质。

背景技术

在高效太阳能异质结电池真空镀膜设备的生产中，在过渡腔(大气/真空转换腔)室中需要为镀膜工艺前后进行预真空/大气准备。过渡腔室中检测大气/真空压强值所采用的传感器，当需求开腔出料时，该传感器会将检测到的真空压强值与基准(一个标准大气压值101.325Kpa)作对比，满足一定范围时，允许开腔出料。

以上现有技术，存在一些不足，主要体现在当需求开腔出料时，该传感器检测到的当前时刻的大气压值，与基准大气压是有偏差的，尤其在雨季或四季交替时，这种偏差最大时可以达到-3％～-9％的误差，也就是说一个大气压101.325Kpa，而误差值最大可导致一个大气压仅90Kpa左右，进而造成了开腔基准偏差较大，这种较大的偏差，会导致开腔震动进而导致产生碎片率。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一个方面在于提出了一种真空镀膜设备的控制方法。

本发明的另一个方面在于提出了一种真空镀膜设备的控制系统。

本发明的再一个方面在于提出了一种真空镀膜设备。

本发明的又一个方面在于提出了一种计算机可读存储介质。

有鉴于此，根据本发明的一个方面，提出了一种真空镀膜设备的控制方法，真空镀膜设备包括转换腔，真空镀膜设备的控制方法包括：基于真空镀膜设备上电的情况下，检测转换腔内的第一压强值，根据第一压强值确定基准大气压强值；响应于预设控制指令，检测转换腔内的第二压强值；根据第二压强值和基准大气压强值，控制转换腔开腔，并检测转换腔内的第三压强值；根据第三压强值更新基准大气压强值。

本发明提供的真空镀膜设备的控制方法，真空镀膜设备包括转换腔，转换腔为真空/大气转换腔，主要为镀膜工艺前后进行预真空/大气准备。当真空镀膜设备第一次上电时，或在每个生产周期(如每天)第一次上电时，利用传感器检测转换腔内的第一压强值，根据第一压强值确定基准大气压强值。由于真空镀膜设备在每天第一次开机时，转换腔通常是开腔状态，故第一压强值通常为实时大气压强值。真空镀膜设备进入生产，当控制系统接收到预设控制指令时，响应于预设控制指令，令传感器检测转换腔内的第二压强值。其中，预设控制指令为转换腔需要开腔的指令，例如，当转换腔内的产品需要出料，或产品需要进入转换腔内生产，或产品需要在不同转换腔间传输时，都需要开腔。转换腔开腔就会存在内外压差过大的情况，为了避免在内外压差过大的情况下开启转换腔，根据第二压强值和基准大气压强值来控制转换腔开腔，使转换腔在第二压强值与基准大气压强值之间的偏差满足预设要求时开腔。开腔后，利用传感器检测转换腔内的第三压强值，此时的第三压强值为实时大气压强值，根据第三压强值更新基准大气压强值，作为下一次开腔的基准，以此类推，后续每一次开腔后，都采集转换腔内的第三压强值，即实时大气压强值，并以此校准基准大气压强值。通过本发明提供的真空镀膜设备的控制方法，能够实时跟踪当前(每时每刻)的大气压变化，进而自动校准基准大气压开腔安全范围，有效解决了大气压误差变化大的影响，从而有效避免了产生碎片的情况，继而有效保证了产能。