[发明专利]准分子灯

说明书

本发明提供一种准分子灯，其包括放电容器、第一电极以及第二电极。放电容器包括透光本体、放电用气体、反射层以及两个部分穿透部分吸收层。透光本体具有第一、第二外表面、两个外侧面、第一、第二内表面以及两个内侧面。两个外侧面分别连接于第一外表面与第二外表面之间。两个内侧面分别连接于第一内表面与第二内表面之间。第一内表面、第二内表面以及两个内侧面形成密封空间。放电用气体位于密封空间中。反射层设置在第一内表面上。两个部分穿透部分吸收层分别设置在两个内侧面上。第一电极设置在第一外表面上。第二电极设置在第二外表面上。

技术领域

本发明涉及一种准分子灯，尤其涉及一种应用于半导体或液晶显示元件的制程的准分子灯。

背景技术

随着制程的改变及需求提升，目前准分子灯的使用需要很多灯管，才能满足制程需求(例如大的照射面积)。然而，灯管数量的增加会导致制程成本的增加。因此，如何在提升照射面积的同时，减少灯管所需的数量，便成为研发人员亟欲解决的问题之一。

发明内容

本发明提供一种准分子灯，其可在提升照射面积的同时，减少灯管所需的数量。

本发明的一实施例提供一种准分子灯，其包括放电容器、第一电极以及第二电极。放电容器包括透光本体、放电用气体、反射层以及两个部分穿透部分吸收层。透光本体具有第一外表面、第二外表面、两个外侧面、第一内表面、第二内表面以及两个内侧面。两个外侧面分别连接于第一外表面与第二外表面之间。两个内侧面分别连接于第一内表面与第二内表面之间。第一内表面、第二内表面以及两个内侧面形成密封空间。放电用气体位于密封空间中。反射层设置在第一内表面上。两个部分穿透部分吸收层分别设置在两个内侧面上。第一电极设置在第一外表面上。第二电极设置在第二外表面上。

在本发明的一实施例中，两个内侧面以及两个外侧面皆为弧面。

在本发明的一实施例中，两个外侧面之间的距离大于40mm。

在本发明的一实施例中，反射层的材料包括二氧化硅。

在本发明的一实施例中，两个部分穿透部分吸收层的材料包括氧化钇。

在本发明的一实施例中，两个部分穿透部分吸收层的穿透率落在40％至50％的范围内。

在本发明的一实施例中，第二电极为网格电极。

在本发明的一实施例中，网格电极具有多个透光开口。多个透光开口的形状为长方形。

在本发明的一实施例中，长方形的长边平行于第二外表面的长边。

在本发明的一实施例中，长方形的长边的长度大于2.8mm。

基于上述，在本发明的实施例中，两个部分穿透部分吸收层分别设置在透光本体的两个内侧面上。两个部分穿透部分吸收层除了可减少透光本体的两侧的应力之外，还可让部分的光穿透。因此，放电用气体所产生的光除了可从透光本体的第二内表面射出之外，还可从透光本体的两个内侧面射出，达到提升照射面积的效果。是以，准分子灯可在提升照射面积的同时，减少灯管所需的数量。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

包含附图以便进一步理解本发明，且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本发明的实施例，并与描述一起用于解释本发明的原理。

图1是本发明的一实施例的一种准分子灯的剖面示意图；

图2是图1中第二电极的局部正视图；

图3是实验例与比较例的照射宽度与相对UV强度的关系图。

附图标号说明

1：准分子灯；