[发明专利]LED灯以及利用该LED灯的曝光装置用光源

说明书

提供一种LED灯，使追加特定的波长的光量容易，且即使进行追加，也能使开口尺寸的增加程度最小。利用第一LED(14)、第二LED(16)、第三LED(18)、聚光透镜(20)和分色镜(22)来构成LED灯(10)。将聚光透镜(20)配置于第一LED(14)的光轴(LL1)上。将分色镜(22)配置于同光轴(LL1)上的、第一LED(14)与聚光透镜(20)之间。将第二LED(16)配置于使其光轴(LL2)与光轴(LL1)交叉的位置。设定分色镜(22)使来自第一LED(14)的光(L1)透过，且使来自第二LED(16)的光(L2)反射而与光轴(LL1)大致平行。将第三LED(18)配置于使同光轴(LL3)与光轴(LL1)大致平行的位置。使来自第三LED(18)的光(L3)直接进入聚光透镜(20)。

技术领域

本发明涉及LED灯，尤其涉及对波长范围宽的宽带光进行放射的LED灯以及利用该LED灯的曝光装置用光源。

背景技术

与现有的白炽灯(例如，卤素灯)相比，具有功耗低且寿命长这样的长处的发光二极管(以下，称为“LED”)随着消费者的环保意识的提高，作为节能对策之一，其使用范围急速扩大，尤其是意图使用LED来代替白炽灯、放电灯的需求高企。

相对于此，LED具有平均每个的光量与白炽灯、放电灯相比较少这样的课题、从LED放射的光的波长范围窄(窄带)这样的课题，因此为了对其弥补，开发了通过设置多个LED而能够发出较多的光量、且能够放射波长范围宽的宽带光的发光二极管灯(例如，专利文献1)。

专利文献1公开的LED灯替代水银灯(放电灯)而用于曝光装置的光源。从前，例如配合在印刷基板的布线图案形成、阻焊膜形成时所使用的感光材料的灵敏度特性，使用了较强发出436nm(g线)、405nm(h线)以及365nm(i线)的光谱线的水银灯。在此，若使用LED灯来取代该水银灯，则如上所述，存在光量少这样的问题、以及光的波长范围窄而无法放射与感光材料的灵敏度特性相匹配的光这样的问题。

为此，在专利文献1的LED灯中，使用分色镜将从多个LED放射出的光进行合成，并使之成像于积分器的入射面。通过配合感光材料的灵敏度特性，将从各LED放射的光的波长设定为彼此不同，从而能够使用LED灯来替代水银灯。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2012-63390号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

然而，在专利文献1公开的LED灯中也存在问题。

例如，在利用分色镜使光透过或者反射时，该光会衰减几成，因此根据需要，需要追加特定的波长的光量。

另外，若为了追加特定的波长的光量而排列对该波长的光进行放射的别的LED灯，则将会增加1套LED灯的开口尺寸，且在为了实现大光量而排列大量的LED灯来作为曝光装置用光源进行使用等情况下，会产生配置空间的问题。

本发明鉴于上述课题而提出，其目的在于，提供一种LED灯以及利用该LED灯的曝光装置用光源，使得追加特定的波长的光量容易，且即使进行追加也能使开口尺寸的增加程度最小。

(用于解决课题的技术方案)

根据本发明的一技术方案，提供一种LED灯，具备：第一LED、第二LED、第三LED、聚光透镜以及分色镜，所述聚光透镜配置于所述第一LED的光轴上，所述分色镜配置于所述第一LED的光轴上，且配置于所述第一LED与所述聚光透镜之间，所述第二LED配置于使所述第二LED的光轴与所述第一LED的光轴交叉的位置，所述分色镜使来自所述第一LED的光透过，且使来自所述第二LED的光以与所述第一LED的光轴大致平行的方式反射，所述第三LED配置于使所述第三LED的光轴与所述第一LED的光轴大致平行的位置，来自所述第三LED的光不会透过所述分色镜，也不会由所述分色镜反射，而直接进入所述聚光透镜。