[发明专利]一种芯片光刻显影设备

权利要求书

1.一种芯片光刻显影设备，其结构包括主体(1)、控制面板(2)、散热口(3)，所述主体(1)的顶部设有控制面板(2)，所述散热口(3)设有两个，且分别位于主体(1)的前端与侧端，其特征在于：

所述主体(1)包括水槽(11)、放置装置(12)、搅拌桨(13)、循环水管(14)、收集装置(15)，所述水槽(11)设置在主体(1)的内部侧端，所述放置装置(12)横向安装在水槽(11)的正中间，所述搅拌桨(13)设置在水槽(11)的底部，所述循环水管(14)设有两个，且分别安装在水槽(11)的上下两端，所述收集装置(15)设置在下端的循环水管(14)中。

2.根据权利要求1所述的一种芯片光刻显影设备，其特征在于：所述放置装置(12)包括过滤网(121)、放置板(122)、通水孔(123)、排水槽(124)，所述过滤网(121)设置在放置装置(12)的侧端顶部，所述放置板(122)水平安装在放置装置(12)的正中间，所述通水孔(123)设有八个，且横向排列在放置板(122)的左右两端，所述排水槽(124)位于放置装置(12)的底端。

3.根据权利要求2所述的一种芯片光刻显影设备，其特征在于：所述排水槽(124)包括导料块(a1)、安装槽(a2)、导向装置(a3)，所述导料块(a1)设置在排水槽(124)的正中间，所述安装槽(a2)设有八个，且横向排列在排水槽(124)的上下端面，所述导向装置(a3)安装在安装槽(a2)中。

4.根据权利要求3所述的一种芯片光刻显影设备，其特征在于：所述导向装置(a3)包括转动轴(a31)、回卷弹簧(a32)、导料板(a33)、卡料块(a34)，所述转动轴(a31)卡合在安装槽(a2)中，所述回卷弹簧(a32)嵌套在转动轴(a31)的侧端，所述导料板(a33)嵌固在转动轴(a31)的端面，所述卡料块(a34)设有两个，且分别位于导料板(a33)的端面。

5.根据权利要求1所述的一种芯片光刻显影设备，其特征在于：所述收集装置(15)包括导料罩(b1)、通料孔(b2)、滤料网(b3)、卡管槽(b4)、集料槽(b5)，所述导料罩(b1)设置在收集装置(15)的顶部，所述通料孔(b2)设有八个，且横向排列在导料罩(b1)的端面，所述滤料网(b3)安装在收集装置(15)的内部正中间，所述卡管槽(b4)位于收集装置(15)的底部正中间，所述集料槽(b5)设于卡管槽(b4)的侧端。

6.根据权利要求5所述的一种芯片光刻显影设备，其特征在于：所述集料槽(b5)包括进料口(b51)、防回流块(b52)、卡料板(b53)、通水滤网(b54)、清料门(b55)，所述进料口(b51)为锥状，且设置在集料槽(b5)的顶部，所述防回流块(b52)设有五个，且横向排列在进料口(b51)的正中间，所述卡料板(b53)设有三个，且嵌固在集料槽(b5)的内部，所述通水滤网(b54)位于集料槽(b5)的侧端底部，且贯穿于集料槽(b5)，所述清料门(b55)安装在集料槽(b5)的底部。

7.根据权利要求6所述的一种芯片光刻显影设备，其特征在于：所述防回流块(b52)包括板体(c1)、转块(c2)、复位弹簧(c3)、导流块(c4)，所述板体(c1)设有两个，且相互连接在一起，所述转块(c2)与两个板体(c1)相卡合，所述复位弹簧(c3)安装在板体(c1)的侧端，所述导流块(c4)设有六个，且以三个为一组排列在板体(c1)的上端面。