[发明专利]激光诱导MnO2

权利要求书

1.一种激光诱导MnO₂和石墨烯微型超级电容器的制造方法，其特征在于，包括：

在氯化锰溶液中浸泡聚酰亚胺薄膜；

将浸泡完成的所述聚酰亚胺薄膜粘合于硬质衬底上，对粘合衬底进行干燥处理，并从干燥好的所述粘合衬底上分离得到干燥好的聚酰亚胺薄膜；

使用激光在干燥好的聚酰亚胺薄膜上诱导出微型超级电容的电极图案，得到电容电极；所述电容电极的材质包括MnO₂和石墨烯；

基于所述电容电极制备固态的电解质，得到制备完成的微型超级电容器；

其中，基于所述电容电极制备固态的电解质的方式配合电极形状存在不同，所述氯化锰溶液为氯化锰酒精溶液；所述氯化锰酒精溶液中，每毫升酒精包含有0.2g～0.67g的氯化锰；

所述对粘合衬底进行干燥处理，包括：

将所述粘合衬底在50℃～70℃的温度下干燥不少于3分钟；

所述从干燥好的所述粘合衬底上分离得到干燥好的聚酰亚胺薄膜，包括：从干燥好的所述粘合衬底上分离出所述聚酰亚胺薄膜，并在室温下干燥不少于5分钟，得到干燥好的聚酰亚胺薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述硬质衬底包括：二氧化硅衬底、蓝宝石衬底或玻璃衬底。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微型超级电容器，包括：叉指型超级电容器；

所述基于所述电容电极制备固态的电解质，得到制备完成的微型超级电容器，包括：

将凝胶状的电解质材料覆盖于所述聚酰亚胺薄膜上的电容电极之上，待所述电解质材料凝固后，得到制备完成的微型超级电容器。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微型超级电容器，包括：三明治结构的超级电容器；

所述基于所述电容电极制备固态电解质，得到制备完成的微型超级电容器，包括：

使用带有粘性的柔性材料，从所述聚酰亚胺薄膜上剥离出所述电容电极；

使用凝胶状的电解质材料，配合剥离出的电容电极制备固态电解质，得到制备完成的微型超级电容器。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述带有粘性的柔性材料，包括：所述凝胶状的电解质材料。

6.一种激光诱导MnO₂和石墨烯微型超级电容器，其特征在于，所述微型超级电容器采用如权利要求1-5任一项所述的方法制备得到；

其中，所述微型超级电容器的电容电极的材质包括：MnO₂和石墨烯。

7.根据权利要求6所述的微型超级电容器，其特征在于，所述微型超级电容器，能够作为压力传感器使用。