[发明专利]一种真空镀膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜装置，包括真空罐(2)以及设在真空罐(2)内腔顶部用于轰击金属的金属离子轰击仓(22)，设在所述真空罐(2)内部用于装夹工件的转动支架(9)，其特征在于，所述真空罐(2)内沿所述真空罐(2)轴线方向阵列分布多个转动支架(9)，所述转动支架(9)可拆卸式安装在转轴(7)跟随转轴(7)转动，所述转轴(7)一端与滑动支架(8)转动连接，另一端与固定板(14)转动连接，所述固定板(14)与滑动支架(8)可拆卸固定连接；

所述转动支架(9)端面径向阵列分布设置多个转动的转动支座(12)，沿所述转动支架(9)径向方向相邻转动支座(12)之间设有可转动的第一驱动轮(15)，所述转动支座(12)与转动支架(9)转动卡接，所述转动支座(12)底端圆周面开设有齿槽，所述第一驱动轮(15)内外两侧圆周面开设有齿槽，所述第一驱动轮(15)内外两侧径向相邻的第一驱动轮(15)均与转动支座(12)啮合连接；

所述转动支架(9)外圆周外侧设有内齿轮(10)，所述内齿轮(10)与设置在所述转动支架(9)最外侧的转动支座(12)啮合连接，所述内齿轮(10)两端与滑动支架(8)滑动连接，所述滑动支架(8)中间固定连接的固定杆(81)上设有用于固定内齿轮(10)的凸轮限位块(11)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述转动支座(12)中心开设有通孔，所述转动支座(12)通过单头螺柱与所述转动支架(9)转动连接，所述弹头螺钉与转动支座(12)端面开设的内螺纹孔(92)螺纹连接，所述转动支座(12)沿单头螺柱转动。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述转动支座(12)顶端圆柱部分开设有外螺纹，所述转动支座(12)与工件固定工装螺纹连接固定。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述转轴(7)轴向阵列分布多个连接孔(71)，所述转动支架(9)中心位置轴向固定连接有连接套(94)，所述连接套(94)上开设有限位孔(93)，所述限位孔(93)内安装有连接螺柱(91)贯穿限位孔(93)和连接孔(71)，另一端与螺母螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述凸轮限位块(11)中开设有用于固定内齿轮(10)的限位槽，所述凸轮限位块(11)与固定杆(81)转动连接，所述凸轮限位块(11)与固定杆(81)的转动角度范围为0～100°。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述固定杆(81)轴向阵列分布开设多个弧形槽(811)，所述弧形槽(811)的张口角度为110°，所述凸轮限位块(11)远离槽口侧开设有凸轮限位块(111)，所述凸轮限位块(111)内螺纹连接有连接螺钉(1)，所述弧形槽(811)内径向开设有容纳连接螺钉(1)的定位孔(812)。

7.根据权利要求2所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述第一驱动轮(15)远离转动支架(9)侧设有限位板(19)，所述限位板(19)上开设有多个通孔穿套在转动支座(12)上，所述转动支座(12)与限位板(19)转动连接，所述限位板(19)介于工件固定工装与转动支座(12)底部齿状圆柱端面之间。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述滑动支架(8)远离固定板(14)侧的圆盘径向开设有放置槽(82)，所述放置槽(82)内设有可伸缩的刮料板(17)，所述刮料板(17)与滑动支架(8)通过弹性件连接。