[发明专利]一种氙气生产制备装置及方法有效

专利信息
申请号: 202011160299.9 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN112250050B 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 陈国富;龚施健;于胜;陈金彬;林海宁 申请(专利权)人: 深圳市博纯半导体材料有限公司;博纯材料股份有限公司
主分类号: C01B23/00 分类号: C01B23/00
代理公司: 广州博士科创知识产权代理有限公司 44663 代理人: 梁志标
地址: 518000 广东省深圳市福田区福保街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 氙气 生产 制备 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种氙气生产制备装置,其特征在于,所述氙气生产制备包括罐体(1),所述罐体(1)顶部开设有进料管(2),且罐体(1)底部开设有排料管(8),所述罐体(1)内部转动安装有丝杠(41),且丝杠(41)外部传动安装有可封装混合钯触媒的载媒器(9),所述罐体(1)内壁开设有螺旋槽(42),所述载媒器(9)的边缘固定有滚球(43),且滚球(43)与螺旋槽(42)滚动卡接,所述罐体(1)端部安装有可联动压力控制密封的密封器(3),且丝杠(41)转动穿过密封器(3)连接有电机(4),所述载媒器(9)的边缘均安装有传料装置(10),所述罐体(1)靠近密封器(3)一端安装有与传料装置(10)配合的排料器(6)和进料器(7),且排料器(6)和进料器(7)的分布与传料装置(10)对齐,所述罐体(1)底部安装有实现单向均匀供气的供气装置(5);

所述载媒器(9)包括螺纹筒(91)、基筒(92)、框盒(93)、连盒(94)和滤网板(95),所述螺纹筒(91)与丝杠(41)啮合套接,所述螺纹筒(91)外壁转动套接有基筒(92),所述基筒(92)外壁等距固定有三个框盒(93),所述基筒(92)顶部的框盒(93)两侧对称固定有连盒(94),且连盒(94)与基筒(92)两侧的框盒(93)连通,所述框盒(93)两侧对称固定有滤网板(95),所述传料装置(10)安装在框盒(93)侧面顶端,所述滚球(43)安装在基筒(92)上方的框盒(93)顶端;

所述传料装置(10)包括端盒(101)、导料口(102)、导条(103)、密封板(104)和压缩弹簧(105),所述端盒(101)与框盒(93)固定连通,所述端盒(101)靠近排料器(6)一侧开设有导料口(102),所述端盒(101)外壁位于导料口(102)的上方和下方固定有导条(103),所述端盒(101)外部设置有密封板(104),且密封板(104)与导条(103)滑动连接,所述密封板(104)靠近框盒(93)一侧固定有压缩弹簧(105),且密封板(104)通过压缩弹簧(105)与端盒(101)外壁弹性连接;

所述排料器(6)和进料器(7)结构相同,所述排料器(6)包括通管(61)、曲盒(62)、堵块(63)、导槽(64)、导块(65)和伸缩弹簧(66),所述曲盒(62)固定在罐体(1)内壁,所述曲盒(62)与端盒(101)结构配合,所述外壁固定连通有通管(61),且通管(61)穿过罐体(1),所述曲盒(62)内壁对称开设有导槽(64),且导槽(64)内滑动安装有导块(65),所述曲盒(62)内滑动配合有堵块(63),且堵块(63)与导块(65)固定连接,所述堵块(63)表面固定有伸缩弹簧(66),且堵块(63)通过伸缩弹簧(66)与曲盒(62)内壁弹性连接。

2.根据权利要求1所述的氙气生产制备装置,其特征在于,所述密封器(3)包括扩容块(31)、圈槽(32)、密封圈(33)、圈板(34)、联动机构(35)、软胶套(36)和嵌合槽(37),所述扩容块(31)与罐体(1)固定连接,所述丝杠(41)与扩容块(31)转动连接,所述丝杠(41)表面等距开设有圈槽(32),且圈槽(32)外部套设有密封圈(33),所述扩容块(31)内壁开设有嵌合槽(37),且嵌合槽(37)内滑动配合安装有圈板(34),所述扩容块(31)内部安装有联动机构(35),且圈板(34)与联动机构(35)连接,所述扩容块(31)内部位于丝杠(41)外固定有软胶套(36),且联动机构(35)与软胶套(36)挤压接触。

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