[发明专利]一种钛靶材组件的车削方法

权利要求书

1.一种钛靶材组件的车削方法，其特征在于，所述车削方法包括如下步骤：

(1)将钛锭切断进行塑性变形，得到钛靶材坯料；

(2)将步骤(1)得到的钛靶材坯料与背板进行焊接，得到钛靶材组件粗品；

(3)将步骤(2)得到的钛靶材组件粗品中的所述钛靶材坯料的溅射面依次进行粗车削和精车削，得到所述钛靶材组件；

其中，所述精车削的待加工余量为0.4-0.6mm，所述精车削分为至少2刀进行车削。

2.根据权利要求1所述的车削方法，其特征在于，步骤(3)所述精车削分为4-9刀进行车削；

优选地，步骤(3)所述精车削的第一刀的进刀量为0.2-0.25mm，后续每一刀的进刀量为0.03-0.07mm；

优选地，步骤(3)所述精车削的转动速度为200-300r/min。

3.根据权利要求1或2所述的车削方法，其特征在于，步骤(3)所述粗车削的待加工余量为0.7-1.3mm；

优选地，步骤(3)所述粗车削的每一刀的进刀量为0.3-0.5mm；

优选地，步骤(3)所述粗车削的转动速度为200-300r/min。

4.根据权利要求1-3任一项所述的车削方法，其特征在于，步骤(3)所述粗车削和所述精车削均采用车削液；

优选地，所述车削液为乳化液的水溶液；

优选地，所述乳化液的水溶液的体积浓度为5-10％；

优选地，所述乳化液的含油量为50-80vol％；

优选地，所述乳化液为加德士安快达3380水溶性车削液。

5.根据权利要求1-4任一项所述的车削方法，其特征在于，步骤(3)所述粗车削和所述精车削均采用的是卧式数控机床；

优选地，所述卧式数控机床为台中精机VT22型号机床。

6.根据权利要求1-5任一项所述的车削方法，其特征在于，步骤(1)所述塑性变形包括依次进行的锻造、退火、轧制、终端退火和机加工。

7.根据权利要求1-6任一项所述的车削方法，其特征在于，步骤(1)所述钛锭的纯度为99.995-99.999％。

8.根据权利要求1-7任一项所述的车削方法，其特征在于，步骤(2)所述背板为铜合金背板或铝合金背板。

9.根据权利要求1-8任一项所述的车削方法，其特征在于，步骤(2)所述焊接为扩散焊接或钎焊。

10.根据权利要求1-9任一项所述的车削方法，其特征在于，所述车削方法包括如下步骤：

(1)将纯度为99.995-99.999％的钛锭切断，依次进行包括锻造、退火、轧制、终端退火和机加工在内的塑性变形，得到钛靶材坯料；

(2)将步骤(1)得到的钛靶材坯料与铜合金背板或铝合金背板进行焊接，得到钛靶材组件粗品；

其中，所述焊接为扩散焊接或钎焊；

(3)将步骤(2)得到的钛靶材组件粗品放入台中精机VT22型号机床内，对所述钛靶材坯料的溅射面依次进行粗车削和精车削，得到所述钛靶材组件；

其中，所述粗车削的待加工余量为0.7-1.3mm，所述粗车削的每一刀的进刀量为0.3-0.5mm，所述粗车削的转动速度为200-300r/min；

所述精车削的待加工余量为0.4-0.6mm，所述精车削分为4-9刀进行车削，所述精车削的第一刀的进刀量为0.2-0.25mm，后续每一刀的进刀量为0.03-0.07mm，所述精车削的转动速度为200-300r/min；

所述粗车削和所述精车削均采用加德士安快达3380水溶性车削液，所述车削液的体积浓度为5-10％。