[发明专利]一种电沉积书写系统及直写式制备金属微纳结构的方法在审
申请号: | 202011152080.4 | 申请日: | 2020-10-26 |
公开(公告)号: | CN112458507A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 明平美;李玉婷;周涛;郑兴帅;闫亮;牛屾;张云燕;肖有平;李士成;王文凯;张亚楠 | 申请(专利权)人: | 河南理工大学;南通美精微电子有限公司 |
主分类号: | C25D5/04 | 分类号: | C25D5/04;C25D17/12;C25D21/10;C25D21/12;C25D5/02 |
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地址: | 454003 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 沉积 书写 系统 直写式 制备 金属 结构 方法 | ||
1.一种电沉积书写系统,它包括书写笔(4)、阴极基底(6)、电解液(2)、电沉积电源(5)、惰性金属丝(1)、进液口(3);所述的书写笔包括中空状书写笔杆(4-1)、中空状书写笔头(4-2)、陶瓷球珠(4-3);所述的中空状书写笔头(4-2)可拆卸的固定于中空状书写笔杆(4-1)的下端,且与中空状书写笔杆(4-1)相连通;所述的陶瓷球珠(4-3)可转动的安设于中空状书写笔头(4-2)的外端部;所述的惰性金属丝(1)置于中空状书写笔杆(4-1)内且其下端伸入中空状书写笔头(4-2)内部;所述的书写笔(4)的空腔内始终装有电解液(2);所述的书写笔(4)可相对于阴极基底做三维运动;所述的陶瓷球珠(4-3)始终与阴极基底(6)的表面接触;所述的阴极基底(6)和惰性金属丝(1)分别于电沉积电源(5)的负极和正极相连接。
2.根据权利要求1所述的一种电沉积书写系统,其特征在于:所述的惰性金属丝(1)的直径小于中空状书写笔头(4-2)。
3.根据权利要求1所述的一种电沉积书写系统,其特征在于:所述的陶瓷球珠(4-3)由电绝缘陶瓷制成,其直径为50~200μm。
4.根据权利要求1所述的一种电沉积书写系统,其特征在于:所述的电解液(2)含有1种或2种以上易于电化学还原成原子的金属离子。
5.根据权利要求1所述的一种电沉积书写系统,其特征在于:所述的电解液(2)的温度为25~60oC。
6.根据权利要求1所述的一种电沉积书写系统,其特征在于:所述的中空状书写笔头(4-2)的材质为钛合金。
7.一种直写式制备金属微纳结构的方法,其特征在于:它包括以下步骤:
S1:把书写笔(4)靠近阴极基底(6)并使陶瓷球珠(4-3)轻压在阴极基底(6)的表面上;
S2:把书写笔(4)相对于阴极基底(6)移动到设定的起始位置;
S3:启动电沉积电源(5)的同时驱动书写笔(4)在阴极基底(6)的表面上按设定的路径匀速地移动,此时,电解液(2)在陶瓷滚珠(4-3)的滚动剪切作用下被带出书写笔(4)并粘附在阴极基底(6)的表面上,与此同时,在电场的作用下粘附在阴极基底(6)上的电解液(2)中的金属离子被还原成金属原子而堆叠在阴极基底(6)的表面上并形成金属微纳结构(7);
S4:当书写笔(4)移动到设定路径的终点位置时停止移动,并关断电沉积电源(5);
S5:抬起书写笔(4),移离阴极基底(6)并对其进行清洗干燥,即得到制备的金属微纳结构(7)。
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