[发明专利]一种方形石英舟及其加工工艺

说明书

本申请公开了一种方形石英舟及其加工工艺，涉及石英舟加工的技术领域，其包括两个间隔设置的端板，两个端板之间固设有上架体和下架体，上架体和下架体上下间隔设置，上架体包括三个间隔设置的长条型棒材，下架体包括四个间隔设置的开槽棒，上架体和下架体共同围成两个用于放置硅片的区域。本申请具有增加了硅片的放置区域，进而增加硅片的放置量的效果。

技术领域

本申请涉及石英舟加工的技术领域，尤其是涉及一种方形石英舟及其加工工艺。

背景技术

石英舟是一种半导体硅片承载工具，主要应用于以下两个用途，其一，太阳能电池片在制作过程中有一步很关键的步骤叫扩散，这个步骤中需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品，其二，半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如LED外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。

如图1所示，相关技术中的方形石英舟通常包括两个间隔设置的侧板1，两个侧板1之间固定连接有四个呈倒梯形间隔分布的支撑杆11，支撑杆11上开设有若干槽口。

上述相关技术中的石英舟在实际使用的过程中仅存在一个用于放置硅片的区域，硅片的放置量受到了一定的限制。

发明内容

为了增加硅片的放置区域进而增加硅片的放置量，本申请提供一种方形石英舟及其加工工艺。

本申请提供的一种方形石英舟及其加工工艺采用如下的技术方案：

一种方形石英舟，包括两个间隔设置的端板，两个所述端板之间固设有上架体和下架体，所述上架体和下架体上下间隔设置，所述上架体包括三个间隔设置的长条型棒材，所述下架体包括四个间隔设置的开槽棒，所述上架体和下架体共同围成两个用于放置硅片的区域。

通过采用上述技术方案，三个间隔设置的长条型棒材和四个间隔设置的开槽棒共同围成了两个用于放置硅片的区域，增加了硅片的放置量，同时，上架体中位于两侧的两个长条型棒材共用位于中间的长条型棒材作为共用支撑构件，节省了材料，降低了成本。

优选的，所述上架体中位于两侧的两个长条型棒材为侧开槽方棒，位于中间的所述长条型棒材为中开槽方棒，所述中开槽方棒和侧开槽方棒相对的两侧分别开设有上槽口，所述上槽口沿方形石英舟的长度方向间隔设置有若干个。

通过采用上述技术方案，加工侧开槽方棒时，仅需对其朝向中开槽方棒的一侧进行上槽口的加工，减少了加工步骤，缩短了加工时间。

优选的，所述中开槽方棒与下架体中位于内侧的两个开槽棒之间固设有连接板。

通过采用上述技术方案，连接板的设置对上架体及下架体起到了连接作用，增加了上架体与下架体之间连接的稳定性。

优选的，两个所述侧开槽方棒与下架体中位于两侧的两个开槽棒之间分别固设有舟脚，所述舟脚的底端端面与端板的底端端面平齐。

通过采用上述技术方案，舟脚的设置对方形石英舟起到了进一步的支撑作用，与两端的端板共同起到了承重的作用。

优选的，两个所述侧开槽方棒与下架体中位于两侧的两个开槽棒之间分别固设有舟脚，所述舟脚的底端端面与端板的底端端面平齐；

所述中开槽方棒和侧开槽方棒之间固设有上连接条，与所述连接板连接的开槽棒和与其相邻的开槽棒之间固设有下连接条。

通过采用上述技术方案，上连接条起到了连接中开槽方棒和侧开槽方棒以及增加二者之间连接的稳定性的作用，下连接条起到了连接开槽棒以及增加与下连接条连接的两个开槽棒之间连接的稳定性的作用，进而增加了上架体和下架体的稳定性。

一种方形石英舟的加工工艺，包括如下操作步骤：