[发明专利]一种用于硅棒的截断装置在审

专利信息
申请号: 202011132877.8 申请日: 2020-10-21
公开(公告)号: CN112109222A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 刘朝轩;范飞;邵玮 申请(专利权)人: 洛阳市自动化研究所有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 471000 河南省洛阳市高新*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 截断 装置
【说明书】:

一种用于硅棒的截断装置,涉及人工晶体技术领域,本发明通过在机架(5)上间隔设置多套硅棒切割机构,其中一套硅棒切割机构只做前后移动,另外几套硅棒切割机构在做前后移动的同时还做左右移动,每套硅棒切割机构配置一套硅棒夹紧机构,硅棒夹紧机构随硅棒切割机构做左右移动,硅棒切割机构中的锯片(12)对应硅棒夹紧机构中的硅棒(8),切割时,锯片旋转且前后移动,硅棒固定不动,切割后的硅棒断面平整光滑,大大提高了切割效率和切割精度等,本发明具有操作方便,生产效率高等特点,适合大范围的推广和应用。

【技术领域】

本发明涉及人工晶体技术领域,尤其涉及一种截断装置,具体涉及一种用于硅棒的截断装置。

【背景技术】

已知的,硅棒在后续的加工过程中,往往需要将硅棒截成预定的长度,在硅棒截断时,现有技术中常用的截断装置为卧式锯床和立式锯床,两种锯床均安装电镀金刚石锯带。其中卧式锯床可单根或多根同时加工,立式锯床一般单根加工。根据检测结果,首先在晶棒两端把要截掉的部分依靠人工画线来做出标记,切割时通过人工肉眼观察,使标记线与切割刀刃的位置重合。

就切割技术而言,锯带是切割单晶硅棒的主要工具。锯带一般被安装在锯床上,在一定的张力与进给速度下对单晶硅棒进行切割。现有的锯带在切割单晶硅棒时会产生2mm左右的锯缝和3mm左右的斜面,对材料的损耗较大。同时在切割的过程中,切割断面斜度大,易崩边,切割时间长等。

目前还有一种使用金刚石线对单晶硅棒进行切割的技术,金刚石线切割是比较先进的硅棒切割加工技术。借助于收放线装置使金刚石线产生高速运动,在切割液辅助冷却的作用下对晶棒材料进行摩擦,从而达到切割的目的。

现有技术中该加工方法与卧式锯床加工方式类似,多为单根加工,也有一次性加工多根的相关设备。采用金刚石线对单晶硅棒进行切割时,切割效率较低。随着光伏技术的发展,人工晶体的应用量不断扩大,现有技术这种低效的人工切割方式已经难以满足生产的需求,急需开发一种用于硅棒的截断装置。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足,本发明提供了一种用于硅棒的截断装置,本发明通过在机架上间隔设置多套硅棒切割机构,其中一套硅棒切割机构只做前后移动,另外几套硅棒切割机构在做前后移动的同时还做左右移动,每套硅棒切割机构配置一套硅棒夹紧机构,硅棒夹紧机构随硅棒切割机构做左右移动,有效的提高了切割效率和切割精度等。

为实现上述发明目的,本发明采用如下技术方案:

一种用于硅棒的截断装置,包括机架、锯片移动机构、锯片进给机构、硅棒夹紧机构和硅棒切割机构,在所述机架上平行设有至少两套锯片进给机构,其中一套锯片进给机构直接固定在机架上,另外一套或多套锯片进给机构分别设置在锯片移动机构上,每套锯片移动机构分别固定在机架上,在每套锯片进给机构上分别设有硅棒切割机构,在每套硅棒切割机构中锯片的前端分别设有硅棒夹紧机构,在所述硅棒夹紧机构中设有硅棒,所述锯片移动机构、锯片进给机构、硅棒夹紧机构和硅棒切割机构分别连接数控控制系统形成所述的用于硅棒的截断装置。

所述的用于硅棒的截断装置,所述硅棒夹紧机构中的左支撑块和右支撑块分别设置在锯片左右两侧的支撑座上,在左支撑块和右支撑块的上方分别设有上压紧块。

所述的用于硅棒的截断装置,所述硅棒夹紧机构包括动力源、上压紧块、右支撑块、龙门架和左支撑块,所述龙门架设置在机架的前端,在龙门架上设有两个动力源,在两动力源的动力输出轴的端部分别设有上压紧块,在两上压紧块下方的支撑座上分别设有左支撑块和右支撑块,所述左支撑块和右支撑块分别设置在锯片的左右两侧。

所述的用于硅棒的截断装置,所述动力源为压紧气缸、电动伸缩杆和液压缸中的任意一种。

所述的用于硅棒的截断装置,所述龙门架的上面设有导向轨,在所述导向轨内设有滑动块,在所述滑动块上设有动力源,在滑动块的端部设有连接架,所述连接架的下端连接支撑座。

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