[发明专利]一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置

权利要求书

1.一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，包括活动盘(1)，其特征在于：所述活动盘(1)的底侧贯穿有连接筒(2)，连接筒(2)的内侧壁中贯穿有活动圈(3)，活动圈(3)的外侧壁中贯穿连接筒(2)的侧壁活动连接有活动块(4)，连接筒(2)的外侧壁贯穿有活动筒(5)，活动筒(5)的顶端固定连接有连接块(8)，连接块(8)的顶端活动连接有活动球(9)，所述活动筒(5)的内部贯穿有活动管(6)，活动管(6)的侧壁之间活动连接有连接索(7)，所述连接筒(2)的内部贯穿有连接管(11)，连接管(11)的侧壁处贯穿有连接片(10)，连接管(11)的侧壁处固定连接有连接杆(12)，连接杆(12)的侧壁远离连接管(11)的一端活动连接有活动珠(13)，所述连接筒(2)的侧壁处贯穿有连接圈(14)，连接圈(14)位于连接筒(2)外侧壁的部位固定连接有吸附块(15)，吸附块(15)的外侧壁处固定连接有磁块(16)。

2.根据权利要求1所述的一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，其特征在于：所述活动球(9)位于活动筒(5)两侧的距离小于连接筒(2)的外径尺寸。

3.根据权利要求1所述的一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，其特征在于：所述活动球(9)的侧壁滚动连接于连接筒(2)的外侧壁处。

4.根据权利要求1所述的一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，其特征在于：所述活动珠(13)的侧壁之间活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，其特征在于：所述连接杆(12)的底侧壁处设置有限位块。

6.根据权利要求1所述的一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，其特征在于：所述连接杆(12)的侧壁之间设置有滤网。

7.根据权利要求1所述的一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，其特征在于：所述活动块(4)的侧壁转动连接于连接筒(2)的侧壁处。