[发明专利]一种耐磨耐高温复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202011129534.6 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112342505B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 魏仕勇;万珍珍;谌昀;金莹;谢仕芳;汪爱英 | 申请（专利权）人： | 江西省科学院应用物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵琪 |
| 地址： | 330096 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 耐磨 耐高温 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种耐磨耐高温复合涂层，由交替层叠排列的MoNbTaTiZr层和Cr2AlC层组成；
所述MoNbTaTiZr层和Cr2AlC层的交替次数为1～20；
所述交替层叠排列的一个交替周期内MoNbTaTiZr层和Cr2AlC层的厚度比为(1：1)～(3：1)。
2.根据权利要求1所述的耐磨耐高温复合涂层，其特征在于，所述MoNbTaTiZr层中每种元素的原子含量独立地为5～25％。
3.根据权利要求1所述的耐磨耐高温复合涂层，其特征在于，所述Cr2AlC层中Cr的原子含量为40～55％，Al的原子含量为15～30％，C的原子含量为15～30％。
4.根据权利要求1所述的耐磨耐高温复合涂层，其特征在于，所述Cr2AlC层的相纯度为90wt％以上。
5.一种权利要求1～4任意一项所述耐磨耐高温复合涂层的制备方法，在基体上交替沉积MoNbTaTiZr层和Cr2AlC层，所述MoNbTaTiZr层和所述Cr2AlC层的沉积独立地采用电弧离子镀技术。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述MoNbTaTiZr层的沉积所用的靶材通过等离子转移弧技术制备得到。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述MoNbTaTiZr层的沉积时的弧电流为60～80A。
8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述Cr2AlC层的沉积时基底偏压为-80～-150V。
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