[发明专利]应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法

权利要求书

1.应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其特征在于：对工件毛坯待加工区的外边缘处微铣削加工制得沿X轴方向延伸的X向对刀槽、沿Y轴方向延伸的Y向对刀槽；微铣削加工过程中更换刀具后，以X向对刀槽和Y向对刀槽为基准对应进行刀具X方向和Y方向的二次对刀；当X向对刀槽\Y向对刀槽被微铣削加工去除后，基于对应处已加工表面的侧壁进行刀具X方向\Y方向的二次对刀。

2.根据权利要求1所述的应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其特征在于：在直槽的入口或出口处加工X向对刀槽，在S型槽的入口通道或出口通道处加工Y向对刀槽；X向对刀槽、Y向对刀槽均加工为长条槽，长条槽的长度方向与对应坐标轴方向一致，长条槽的宽度与微铣刀的直径对应，长条槽的深度小于微铣刀的直径。

3.根据权利要求1所述的应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其特征在于：二次对刀采用插入观察切屑的方法对刀。

4.根据权利要求1-3任一项所述的应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其特征在于包括以下步骤，

步骤S1：对工件毛坯进行定位与夹紧；

步骤S2：微铣削加工去除工件毛坯上表面与微铣刀回转轴线不垂直的材料；

步骤S3：更换新的刀具，利用刀具在位检测装置对刀具的在位状态进行检测；

步骤S4：进行X、Y与Z三个方向的对刀，设置工件毛坯加工的相对坐标系原点；

步骤S5：在直槽的入口或出口的设定位置处加工X向对刀槽，在S型槽的入口通道或出口通道的设定位置处加工Y向对刀槽；X向对刀槽为上部和外侧均开口的、对应X方向的槽帮与X向坐标轴重合或平行的半开口槽，Y向对刀槽为上部和外侧均开口的、对应Y方向的槽帮与Y向坐标轴平行的半开口槽；

步骤S6：对工件毛坯进行微铣削加工，生成慢波结构的直槽、S型槽、S型槽的入口通道和S型槽的出口通道；微铣削加工过程中更换刀具后，利用刀具在位检测装置对刀具的在位状态进行检测，以X向对刀槽和Y向对刀槽为基准对应进行刀具X方向和Y方向的二次对刀；当X向对刀槽或/和Y向对刀槽被微铣削加工去除后，基于对应处已加工表面的侧壁进行刀具X方向或/和Y方向的二次对刀；

步骤S7：待工件加工完毕之后，清洗、烘干工件。

5.根据权利要求4所述的应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其特征在于：步骤S3和S4之间增设步骤B1:调整C轴角度，使工件毛坯上表面长度方向与Y向导轨运动方向之间的平行度满足加工要求。

6.根据权利要求4所述的应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其特征在于所述步骤S6分为以下步骤，

步骤S6-1：对工件毛坯进行微铣削加工，生成慢波结构中的直槽；

步骤S6-2：待直槽加工完毕后，更换刀具对S型槽进行微铣削加工；

步骤S6-3：当S型槽与直槽相贯的75个周期性结构加工完毕之后，更换刀具依次对S型槽的入口通道和出口通道进行微铣削加工；

上述步骤微铣削加工过程中更换刀具后，利用刀具在位检测装置对刀具的在位状态进行检测，以X向对刀槽和Y向对刀槽为基准对应进行刀具X方向和Y方向的二次对刀；当X向对刀槽被微铣削加工去除后，基于直槽入口或出口处已加工表面的侧壁进行刀具X方向的二次对刀。

7.根据权利要求6所述的应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其特征在于：步骤S6-2中将S型槽按照周期数目划分为若干个加工单元，依次对每一个加工单元进行微铣削加工；待当前加工单元加工完毕之后，更换新的刀具，利用刀具在位检测装置对刀具的在位状态进行检测，并基于直槽的入口或出口处已加工表面的侧壁进行刀具X方向的二次对刀，基于Y向对刀槽进行刀具Y方向的对刀，更换刀具后进行下一个加工单元的微铣削加工。