[发明专利]感测元件基板

权利要求书

1.一种感测元件基板，其特征在于，包含：

一基板；

一主动元件，位于该基板上，其中该主动元件包含一漏极；

一感光单元，位于该基板上且与该主动元件电性连接；以及

一光准直结构，位于该基板与该感光单元之间，其中该光准直结构在该基板的正投影落在该感光单元在该基板的正投影之内，该漏极与该光准直结构属于同一膜层，且该漏极的材料与该光准直结构的材料相同。

2.如权利要求1所述的感测元件基板，其特征在于，更包含：

一层间介电层，位于该基板与该感光单元之间且具有多个通孔，其中该光准直结构包含多个延伸部，各该延伸部位于该层间介电层的各该通孔中，该些延伸部的延伸方向实质上平行于该基板的一法线方向，且该些延伸部之间的间距为2微米至10微米。

3.如权利要求2所述的感测元件基板，其特征在于，更包含：

一控制线，位于该基板上且与该主动元件电性连接，其中该些延伸部与该控制线实质上垂直。

4.如权利要求2所述的感测元件基板，其特征在于，各该延伸部的深宽比为0.1至6。

5.如权利要求2所述的感测元件基板，其特征在于，该些延伸部更包含：

多个第一子延伸部；以及

多个第二子延伸部，其中各该第二子延伸部与各该第一子延伸部交错配置，使该些第二子延伸部与该些第一子延伸部构成网状图案，且该些第一子延伸部的数量为大于2个，该些第二子延伸部的数量为大于2个。

6.如权利要求5所述的感测元件基板，其特征在于，更包含：

一控制线，位于该基板上且与该主动元件电性连接，其中该些第二子延伸部的延伸方向与该控制线交错。

7.如权利要求5所述的感测元件基板，其特征在于，更包含：

一控制线，位于该基板上且与该主动元件电性连接，其中该些第二子延伸部与该控制线实质上平行。

8.一种感测元件基板，其特征在于，包含：

一基板；

一主动元件，位于该基板上，其中该主动元件包含一栅极与一漏极；

一感光单元，位于该基板上且与该主动元件电性连接；以及

一光准直结构，位于该基板与该感光单元之间，其中该光准直结构在该基板的正投影落在该感光单元在该基板的正投影之内，该光准直结构包含多个延伸部，该些延伸部的延伸方向实质上平行于该基板的一法线方向，各该延伸部具有相连接的一下部与一上部，该下部与该栅极属于同一膜层，且该下部的材料与该栅极的材料相同，该上部与该漏极属于同一膜层，且该上部的材料与该漏极的材料相同。

9.如权利要求8所述的感测元件基板，其特征在于，各该延伸部的该下部接触该基板，且各该延伸部的深宽比为0.1至6。

10.如权利要求8所述的感测元件基板，其特征在于，更包含：

一层间介电层，位于该基板与该感光单元之间且具有多个通孔，其中该光准直结构更包含位于该些延伸部的该上部的上方的多个岛部，各该延伸部的该上部及该下部位于该层间介电层的各该通孔中，该些岛部位于该些通孔外。

11.一种感测元件基板，其特征在于，包含：

一基板；

一主动元件，位于该基板上，其中该主动元件包含一栅极与一漏极；

一感光单元，位于该基板上且与该主动元件电性连接；以及

一光准直结构，位于该基板与该感光单元之间，其中该光准直结构在该基板的正投影落在该感光单元在该基板的正投影之内，该栅极与该光准直结构属于同一膜层，且该栅极的材料与该光准直结构的材料相同。