[发明专利]单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管及其制备方法和应用在审
| 申请号: | 202011109833.3 | 申请日: | 2020-10-16 |
| 公开(公告)号: | CN112234127A | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
| 发明(设计)人: | 徐海英;缪长宗;姜明明;阚彩侠 | 申请(专利权)人: | 南京工程学院 |
| 主分类号: | H01L33/26 | 分类号: | H01L33/26;H01L33/40;H01L33/00;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 南京灿烂知识产权代理有限公司 32356 | 代理人: | 赵丽 |
| 地址: | 211167 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | rh zno 微米 线异质结 紫外 增强 发光二极管 及其 制备 方法 应用 | ||
1.单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管,其特征在于:包括p-GaN衬底(1),所述p-GaN衬底(1)的上表面一侧蒸镀Ni/Au电极(3),所述p-GaN衬底(1)的上表面另一侧放置有n-Rh@ZnO单根微米线(2),所述n-Rh@ZnO单根微米线(2)的上表面覆盖有ITO导电电极(4)。
2.根据权利要求1所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管,其特征在于:所述n-Rh@ZnO单根微米线(2)中的ZnO微米线表面旋涂有紫外Rh纳米颗粒。
3.根据权利要求2所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管,其特征在于:所述ZnO微米线为结晶质量完好的六边形ZnO微米线;所述紫外Rh纳米颗粒为LSPR吸收峰为370nm的Rh纳米颗粒。
4.根据权利要求1所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管,其特征在于:所述p-GaN衬底(1)的长,宽,高分别为1.9-2.0cm,1.7~1.8cm,2~10μm;所述ITO导电电极(4)的长和宽为1.0~1.2cm和1.7~1.8cm;所述Ni/Au电极(2)的厚度为30~50nm,所述Ni/Au电极(3)与所述p-GaN衬底(1)之间形成欧姆接触;所述n-Rh@ZnO单根微米线(2)的长度为0.8~1.0cm。
5.根据权利要求1~4任意一项所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
S01,对所述p-GaN衬底(1)进行退火、清洗,保证其干净平整;
S02,在所述p-GaN衬底(1)一侧制备所述Ni/Au电极(3);
S03,制备所述n-Rh@ZnO单根微米线(2);
S04,清洗所述ITO导电电极(4),保持干净平整;
S05,在S02中得到的所述p-GaN衬底(1)上放置S03中得到的所述n-Rh@ZnO单根微米线(2),再在所述n-Rh@ZnO单根微米线(2)上面放置清洗后的所述ITO导电电极(4)并固定,形成p-GaN/n-Rh@ZnO异质结结构,即实现单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管的构筑。
6.根据权利要求5所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管的制备方法,其特征在于:S01中,首先将所述p-GaN衬底(1)置于750~850℃高温炉中退火2~2.5h;然后分别用丙酮、乙醇、去离子水多次清洗,烘干后备用。
7.根据权利要求5所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管的制备方法,其特征在于:S02中,用掩模板覆盖所述p-GaN衬底(1)的大部分,利用电子束蒸镀法,在所述p-GaN衬底(1)的裸露端正面蒸镀所述Ni/Au电极(3)。
8.根据权利要求5所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管的制备方法,其特征在于:S03中,将LSPR吸收峰为370nm的Rh纳米颗粒旋涂在一根结晶质量完好的六边形n-ZnO微米线表面,然后放置在100~120℃烘箱中加热1~1.5h,让Rh纳米颗粒和n-ZnO微米线充分结合,即制备出n-Rh@ZnO微米线复合结构,其中,Rh纳米颗粒的浓度为0.1~0.2g/mL,溶剂为酒精。
9.根据权利要求8所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管的制备方法,其特征在于:所述p-GaN衬底(1)的空穴浓度为1.4×1019~2.0×1019/cm3,空穴迁移率为10~100cm2/V·s;所述n-ZnO微米线的电子浓度为1×1017~1×1019/cm3,电子迁移率为5~100cm2/V·s。
10.根据权利要求1~4任意一项所述的单根Rh@ZnO微米线异质结紫外增强发光二极管在发光器件、光探测和生物传感中的应用。
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